LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè),對(duì)圓片及殘片進(jìn)行合金、退火、擴(kuò)散、氧化等工藝。
特點(diǎn):
★關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件,具有高可靠性。
★具有可編程的升、降溫功能。
★具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能。
★可存儲(chǔ)九條工藝曲線。每條工藝曲線最多有九步。
★曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。
★具有高抗干擾能力。
★具有多種工藝管路,可供用戶隨意靈活配置。
★可為您提供斜滾式推拉舟系統(tǒng),石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)。
主要技術(shù)參數(shù):
★可配工藝管數(shù)量:1~4管/臺(tái); ★工作溫度范圍:400~1300℃;
★恒溫區(qū)長度及精度:300~1000mm 600~1280℃±0.5℃;
★單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性:600~1280℃±0.5℃/24h; ★{zd0}可控升溫速度:15℃/min
★{zd0}降溫速度:5℃/min