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專業(yè)制造福潤德lpcvd設(shè)備
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青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

青島福潤德微電子設(shè)備有限公司目前的主要產(chǎn)品有太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，真空燒結(jié)爐、氫氣爐、鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進口的擴散爐爐體，  同時承接各種微電子生產(chǎn)線及進口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新改造工作。福潤德全體員工熱忱歡迎國內(nèi)外廣大新老客戶來我公司洽談業(yè)務(wù)，共圖發(fā)展。
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LPCVD 用于淀積Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、電力、電子、光電子及M等行業(yè)的生產(chǎn)工藝中。

■ 設(shè)備主要特點

◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應(yīng)室壓力  實現(xiàn)自動控制。                                     
 ◆ 采用進口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)控制,穩(wěn)定性強。  
 ◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。   
 


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