太陽(yáng)能擴(kuò)散爐主要滿(mǎn)足光伏電池生產(chǎn)線對(duì)多晶硅、單晶硅硅片進(jìn)行擴(kuò)散工藝。目前有第二代閉管擴(kuò)散爐和第三代軟著陸擴(kuò)散爐。
◆工作溫度:300~1300℃
◆有效口徑根據(jù)用戶(hù)擴(kuò)散片確定,可訂制
◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度:1080mm(可根據(jù)用戶(hù)要求定制)
◆溫區(qū)精度(靜態(tài)閉管測(cè)試):
600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃
300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃
◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測(cè)試):
600℃<工作溫度<1200℃:±0.5℃/24h
300℃≤工作溫度≤600℃:±1℃/24h
◆溫度斜變能力:
{zd0}可控升溫速度(300~1300℃):15℃/min
{zd0}降溫速度(1300~900℃):5℃/min
◆氣體流量設(shè)定精度:±2%FS
◆氣路系統(tǒng)氣密性:1×10-7PA.m3/s
◆自動(dòng)送料裝置行程:~2000mm
速度:5~1000mm/min
SiC漿承重 19kg
◆裝片數(shù)量 400片/管
◆凈化臺(tái)潔凈度 100級(jí)(10000級(jí)廠房)
◆三相五線制 380V±10%,50Hz±10%Hz;
◆冷卻水:2~4Kgf/cm2,~8L/min