? 總重約 150千克
? 尺寸: 926mmW*700mmD*700mmH
? 12" 卡盤(pán),采用中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨(dú)立控制,中心吸附孔最小可以選擇250微米
? 卡盤(pán)平整度: 5μm, 標(biāo)準(zhǔn)卡盤(pán)可360度無(wú)間隙旋轉(zhuǎn)
? 卡盤(pán)X/Y軸無(wú)間隙移動(dòng),大手柄旋轉(zhuǎn)控制,行程:12英寸X 12英寸,移動(dòng)精度:1um,并帶鎖死裝置
? 可調(diào)節(jié)顯微鏡在 X-Y 平面2" x 2" 范圍內(nèi)移動(dòng),精度1微米(系統(tǒng)不包含顯微鏡)
? 可調(diào)節(jié)顯微鏡快速傾仰,便于更換物鏡,帶自動(dòng)鎖定功能
? 平臺(tái)快速升降行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能
? 平臺(tái)上下微調(diào)行程25mm,升降精度1um
? 平臺(tái)可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡,便于針卡重定位
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