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8"探針臺(tái)
8" probe station
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特點(diǎn)
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類(lèi)型
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規(guī)格
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* 適應(yīng)8英寸的各種半導(dǎo)體器件的高精度測(cè)試
* 舒適大手柄驅(qū)動(dòng)CHUCK
* 20X~4000X 光學(xué)顯微放大
* 無(wú)后座力移動(dòng)
* 針座平臺(tái)可以微調(diào)升降便于探針卡再定位
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顯微鏡控制
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在探針臺(tái)本體的功能設(shè)計(jì)上增加了顯微鏡的氣動(dòng)升降或者顯微鏡傾仰裝置，使在測(cè)試過(guò)程中更換物鏡和樣品更為方便，避免了會(huì)有碰傷樣品和鏡頭的問(wèn)題
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顯微鏡放大倍率：20X~4000X （倍率可選）
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顯微鏡X-Y軸行程2" x2"
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chuck（卡盤(pán)）
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尺寸：8英寸，圓形（方形可選）
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材質(zhì)：不繡鋼（可升級(jí)鍍金）
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旋轉(zhuǎn)角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1°
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X-Y移動(dòng)行程：8" x8"
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Chuck升降：可以快速升降6MM，并且附帶旋鈕細(xì)微調(diào)節(jié)功能
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吸附孔：中心孔徑最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，{zd0}能夠吸住尺寸為8"X8"
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整體規(guī)格
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尺寸：840mm長(zhǎng) x 660mm寬 x 700mm高(帶顯微鏡)
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重量： 180 Kg(帶顯微鏡)
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平臺(tái)升降：平臺(tái)上下粗調(diào)行程6mm 通過(guò)升降桿調(diào)整
平臺(tái)上下細(xì)調(diào)行程25 mm 通過(guò)旋轉(zhuǎn)手輪
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U型大平臺(tái)設(shè)計(jì)，可以放置8個(gè)gd探針座，方便技術(shù)人員長(zhǎng)時(shí)間舒適操作
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可選附件： laser（激光）系統(tǒng)、探針卡夾具、加熱臺(tái)、防震桌、帶真空底座的活動(dòng)Chuck、高壓測(cè)試/大電流測(cè)試、封裝器件夾具、PCB板夾具、屏蔽箱
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