敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機械接觸。是專門為機械和那些特別需要高精度測量值的裝置設(shè)計的;
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體行業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
印刷電路版裝配機械
超精密機械
高精度機床
計量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量裝置
直接驅(qū)動
準(zhǔn)確度等級 ?0.5 μm 和更高 ;測量步距 0.001 μm (1nm) ;測量長度 30 m
海德漢敞開式光柵尺常用型號:
LIP372 LIP382 LIP471 LIP481 LIP571 LIP581 LIF471 LIF481 LIDA171
LIDA181 LIDA 475 LIDA485 LIDA477 LIDA487 PP271 PP281
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