科研KT-Z1605CVD 金屬銅靶材蒸鍍儀 小型蒸鍍儀 相關(guān)信息由 鄭州科創(chuàng)實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備有限公司提供。如需了解更詳細(xì)的 科研KT-Z1605CVD 金屬銅靶材蒸鍍儀 小型蒸鍍儀 的信息,請點(diǎn)擊 http://www.nnfsds.com/b2b/zztk001.html 查看 鄭州科創(chuàng)實(shí)驗(yàn)儀器設(shè)備有限公司 的詳細(xì)聯(lián)系方式。
技術(shù)規(guī)格: - 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸; - 基底旋轉(zhuǎn):8轉(zhuǎn)/分鐘; - 熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源; - 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇; - 泵:前級干泵,分子泵; - Load Lock樣品傳輸腔室:手動(dòng)或自動(dòng)傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配); - 工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存; - 原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),光學(xué)監(jiān)測,殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制; - 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;
- 保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動(dòng)或自動(dòng)開/關(guān)擋板,達(dá)到及時(shí)遮擋樣品效果;