此款等離子清洗機(jī)針對(duì)粉末或者顆粒的360度表面處理設(shè)備，通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)石英攪拌罐使樣品處于懸空位置達(dá)到360度清洗。
等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔等目的。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等。
該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體，采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和固態(tài)電源技術(shù)，使其有效容積增大，不同真空 氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個(gè)機(jī)箱內(nèi)，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時(shí)與大型清洗機(jī)相比較，從檢測(cè)功能與控制功能的設(shè)置上均可一個(gè)面板上操作，特別適用科學(xué)實(shí)驗(yàn) 樣品清洗 和教學(xué)。
|
設(shè)備型號(hào)
|
小號(hào)
|
中號(hào)
|
大號(hào)
|
滾筒
|
|
供電電源
|
AC220V（AC110V可選)
|
|
工作電流
|
整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
|
|
射頻電源功率
|
333
|
333
|
333
|
150w
|
|
射頻頻率
|
13.56MHz
|
|
頻率偏移量
|
＜0.2MHz
|
|
特性阻抗
|
50歐姆，手動(dòng)匹配
|
|
耦合方式
|
電容耦合
|
|
真空度
|
≤100Pa
|
|
腔體材質(zhì)
|
高純石英
|
|
腔體容積
|
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
|
2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)
|
發(fā)發(fā)發(fā)
|
發(fā)發(fā)發(fā)
|
|
觀察窗內(nèi)徑
|
Φ50
|
Φ50
|
Φ70
|
無
|
|
氣體流量
|
10—100ml/min（其他量程可選）
|
|
過程控制
|
過程自動(dòng)控制
|
過程自動(dòng)控制
|
過程自動(dòng)控制
|
過程手動(dòng)控制
|
|
清洗時(shí)間
|
自動(dòng)開關(guān)
|
|
開蓋方式
|
鉸鏈側(cè)開式法蘭
|
|
外形尺寸
|
150*500*250mm
|
450*460*370mm
|
530*580*420mm
|
|
|
重量
|
222
|
22
|
222
|
40Kg
|
|
真空室溫度
|
小于65°C
|
|
冷卻方式
|
強(qiáng)制風(fēng)冷
|
|
標(biāo)配
|
KF16真空管1米，kf16卡箍2個(gè)，不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè)，電源線一根，說明書一本。
|
