電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機 電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機是鄭州科探儀器設(shè)備有限公司生產(chǎn),臺式設(shè)計、軟件自動操控、高,非常適合實驗室科研使用。 通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面
小型蒸鍍儀 鄭州科探KT-Z1650CVD,臺式設(shè)計、軟件自動操控、高,非常適合實驗室科研使用。
通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史**久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。
技術(shù)規(guī)格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉(zhuǎn):8轉(zhuǎn)/分鐘;
- 熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源;
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;
- 原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(QCM),光學(xué)監(jiān)測,殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測技術(shù)或控制;
- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;
- 保護樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達到及時遮擋樣品效果;