技術(shù)參數(shù);
真空腔體
類(lèi)型
高溫型 室溫到400℃
高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)
304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸
Φ88mmX59mm
腔體外尺寸
Φ112X65mm
腔體重量 約2.6KG
腔體上視窗尺寸
Φ47mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)
腔體抽氣口
可擴(kuò)展KF16法蘭 KF25法蘭
腔體真空測(cè)量口
KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接)
腔體進(jìn)氣口
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 硅膠薄膜液體注射口 氣管接頭可選
腔體電接口
5KV高壓電極,10KV高壓電極,4芯8A氣密封信號(hào)接口,8芯4A氣密封信號(hào)接口,
腔體正壓
≤0.1MPa
腔體真空度
機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)
制冷接口 無(wú) 3mm液氮管道
樣品臺(tái)
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樣品臺(tái)材質(zhì)
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無(wú)氧銅(可選純銀熱臺(tái))
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樣品臺(tái)尺寸
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26x26mm
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樣品臺(tái)加熱方式
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電阻加熱
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樣品臺(tái)-視窗 距離
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48mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離)
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樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器
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PT100型鉑電阻
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樣品臺(tái)溫度
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高溫型 室溫到400℃
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高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃
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樣品臺(tái)測(cè)溫誤差
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±0.5℃
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樣品臺(tái)升溫速率
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高溫50℃/min 大值
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