AU-80表面有機物顆粒檢測機
相對于一般無塵室內(nèi)廣泛被使用之手持particlecounter 或是落塵監(jiān)控設備只能檢查出環(huán)境落塵品質(zhì)而不能檢測出particle落塵何處的缺點,透過ASYS AU-80表面有機物顆粒檢測機之照射而產(chǎn)生的反差效果,能很輕易的發(fā)覺生產(chǎn)設備上的particle的落點處透過無塵布等的擦拭
對cgmp各藥廠
洗滌轉(zhuǎn)盤區(qū)﹨膠塞材料﹨無塵衣﹨手套及相關設備機臺等有顯著效果
對電子相關
曝光機﹨顯影機﹨蝕刻﹨黃光及偏光板貼附機臺效果最為顯著
對于制成機臺或parts
cleaner機臺
有機物質(zhì)﹨油漬﹨水漬﹨帶靜電particle﹨毛屑﹨纖維﹨膠類物質(zhì)之parti cle皆可觀察