四甲基氫氧化銨 75-59-2 Tetramethylammonium hydroxide 工業(yè)催化劑 貴金屬催化劑 化學(xué)yw 季銨鹽
用途:在電子行業(yè)中,廣泛用作硅晶片蝕刻劑、清洗劑、正膠顯影劑等,氨基硅油、201甲基硅油、硅橡膠等有機(jī)硅類產(chǎn)品聚合中的催化劑。當(dāng)水溶液使用時,可用作合成RT培司催化劑,亦可用于聚酯類聚合物、紡織、皮革、木材加工、電子、電鍍等行業(yè),也是極譜實驗支持液
四甲基氫氧化銨(TMAH或TMAOH)是一種分子式為 N(CH3)4+?OH? 的季銨堿,也是這類化合物中最簡單的一種。這種物質(zhì)只在五水合物時是一種相對穩(wěn)定的固體形態(tài)。商業(yè)上,TMAH通常以濃的水或甲醇溶液的形式銷售。其固體和溶液均為無色,不純時為黃色。純凈的TMAH幾乎沒有氣味,但樣品常有強(qiáng)烈的魚腥味,因其含有三甲胺的不純物。TMAH有大量、廣泛的工業(yè)和科研用途,例如在黃光制程中當(dāng)顯影液(去光阻液)。
中文名稱:
四甲基氫氧化銨
中文別名:
四甲基氫氧化銨溶液;
四甲;
顯影液TMAH;
英文名稱:
Tetramethylammonium hydroxide
英文別名:
tetreamethyl ammonium hydroxide;
Developer;
TMAH;
AR-300-49;
ocg945;
nmw-w;
TRITONNE;
AZ-300MIF;
TMNOH;
AZ-726;
nmd3;
CAS號:
75-59-2
分子式:
C4H13NO
分子量:
91.15210
jq質(zhì)量:
91.09970
PSA:
23.06000
LogP:
0.14560
外觀與性狀:
無色結(jié)晶(常含三、五等結(jié)晶水),熔點68-71℃,極易吸潮,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,130℃時分解為甲醇和三甲胺,通常使用有10%;25%水(或醇)溶液和含結(jié)晶水化合物。
密度:
0.866 g/mL at 25 °C
熔點:
°C
沸點:
110 °C
閃點:
80 °F
折射率:
n20/D 1.384
穩(wěn)定性:
Stable. Flammable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.
儲存條件:
2-8°C
蒸汽壓:
17.5 mm Hg ( 20 °C)
含量:99%