東莞市鼎偉靶材有限公司是專業(yè)生產(chǎn)純金屬材料,蒸鍍膜材料以及濺射靶材的技術(shù)企業(yè)應(yīng)用的科技型民營股份制工貿(mào)有限公司。公司以青島大學(xué)和青島科技大學(xué)蒸材料專業(yè)為技術(shù)依托,擁有多名中級(jí)專業(yè)技術(shù)人員和專業(yè)化應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室,有很強(qiáng)的蒸材料能力。公司先后研的蒸材料、濺射靶材系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用到國內(nèi)外眾多知名子、太陽能企業(yè)當(dāng)中,以較的價(jià)比,成功替代了國外進(jìn)口產(chǎn)品,頗受用戶好評。
鍍膜Pd鈀靶材生產(chǎn)廠家
東莞市鼎偉靶材有限公司
聯(lián)系人:肖先生
手機(jī):18681059472
話:0769-88039551
網(wǎng)站:
郵箱:
地址:東莞市南城區(qū)民間金融大廈
公司主要經(jīng)營產(chǎn)品:
一、真空鍍膜材料
1.純真空濺射靶材(99.9%——99.999%)
純金屬靶材:鋯靶Zr、鉻靶Cr、鈦靶Ti、鋁靶Al、錫靶Sn、釩靶V、銻靶Sb、銦靶、硼靶B、鎢靶W、錳靶Mn、鉍靶Bi、銅靶Cu、石墨靶C、硅靶 Si、鉭靶 Ta、鋅靶Zn、鎂靶Mg、鈮靶Nb、鉬靶Mo、鈷靶Co、鐵靶Fe、鍺靶Ge、鉿靶Hf、鉛靶Pb、鎳靶Ni、銀靶Ag、硒靶Se、鈹靶Be、碲靶Te、不銹鋼靶材S.S等……
多元合金靶材: 鈦鋁靶Ti-Al、鈦鋯靶Ti-Zr、鈦硅靶Ti-Si、鈦鎳靶Ti-Ni、鎳鉻靶Ni-Gr、鎳鋁靶Ni-Al、鎳釩靶Ni-V、鎳鐵靶Ni-Fe、鐵鈷靶Fe-Co、鋁硅靶Al-Si、鈦硅靶Ti-Si、鉻硅靶Cr-Si、鋅鋁靶Zn-Al、鈦鋅靶材Ti-Zn、鋁硅銅靶Al-Si-Cu等……
陶瓷濺射靶材:ITO靶、單晶硅靶、多晶硅靶、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、二氧化鈦靶TiO2、氧化鋯靶ZrO2、二硼化鈦靶TiB2、氧化鎂靶MgO、碳化硼靶BC、氮化硼靶BN、碳化硅靶SiC、三氧化二釔靶Y2O3、五氧化二釩靶V2O5、氧化鋅靶ZnO、硫化鋅靶ZnS、硫化鉬靶MoS、硫化鎢靶WS、氧化鋅鋁靶ZAO、氧化鋁靶Al2O3、鈦酸鍶靶SrTiO3、五氧化二鉭靶Ta2O5、五氧化二鈮靶Nb2O5、氧化鋅鎵靶ZGO、氧化鋅硼靶ZBO、砷化鎵靶GaAs,磷化鎵靶GaP,硒化鋅靶、錳酸鋰靶、鎳鈷酸鋰靶、鉭酸鋰靶,鈮酸鋰靶、等…
稀土金屬靶:鑭靶、鈰靶、鐠靶、釹靶、釤靶、銪靶、釓靶、鋱靶、鏑靶、鈥靶、鉺靶、銩靶、鐿靶、镥靶、釔靶等…
稀土氧化物靶:氧化鑭靶、氧化鈰靶、氧化鐠靶、氧化釤靶、氧化銪靶、氧化釹靶、氧化釓靶、氧化鋱靶、氧化鏑靶、氧化鈥靶、氧化鉺靶、氧化銩靶、氧化鐿靶、氧化镥靶
金屬膜阻器用Ni-Cr-Si/ Ni-Cr-Mn-Cu濺射靶材:
金屬膜阻器用靶材括阻系列(ZYG)、中阻系列(ZYZ)和低阻系列(ZYC)、超低阻系列(ZYCD)。
2.純光學(xué)鍍膜材料(99.99%——99.999%)
氧化物:一氧化硅、二氧化硅、一氧化鈦、二氧化鈦、三氧化二鈦、五氧化三鈦、二氧化鋯、二氧化鉿、二氧化鈰、二鈦酸鐠、三氧化鎢、五氧化二鉭、五氧化二鈮、三氧化二鈧、三氧化二鋁、三氧化二銦、氧化鐿、氧化鋅、氧化鎂、氧化釓、氧化釤、氧化釹、氧化鈣、氧化鐠、氧化鉍、氧化鉻、氧化鎳、氧化銅、氧化鐵、氧化釩等…
氟化物:氟化鎂、氟化鈣、氟化釹、氟化鑭、氟化鐿、氟化釔、氟化鉺、氟化釤、氟化鏑、氟化鈰、氟化鋇、氟化鍶、氟化鉀、氟化鈉等…
硫化物:硫化鋅、硫化鉬、硫化鈣、硫化銻、硫化鐵、硫化鈉等…
銥錸合金靶材
Ir-Re
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
銦錫合金靶材
In-Sn
99.99%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鉬硅合金靶材
Mo-Si
99.5%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鉬鈮合金靶材T18937853784(不是聯(lián)系方式)
Mo-Nb
99.95%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳鋁合金靶材
Ni-Al
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳鉻合金靶材
Ni-Cr
99.95%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳鉻硅合金靶材
Ni-Cr-Si
99.95%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳鐵合金靶材
Ni-Fe
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳鈮鈦合金靶材
Ni-Nb-Ti
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳鈦合金靶材
Ni-Ti
99.95%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鎳釩合金靶材
Ni-V
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
釤鈷合金靶材
Sm-Co
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
銀銅合金靶材
Ag-Cu
99.99%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
銀錫合金靶材
Ag-Sn
99.99%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鉭鋁合金靶材
Ta-Al
99.9%
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
鋱鏑鐵合金靶材
Tb-Dy-Fe
圓片靶, 矩形靶,圓柱靶,臺(tái)階靶,圖紙加工
下一個(gè)內(nèi)容
物以稀為貴。釕、銠、鈀、鋨、銥、鉑6個(gè)元素在地殼中的含量都非常少。除了鉑在地殼中的含量為億分之五、鈀在地殼中的含量為億分之一外,釕、銠、鋨、銥4個(gè)元素在地殼中的含量都只有十億分之一。又由于它們多分散于各種礦石之中,很少形成大的聚集,所以價(jià)格昂貴。這6個(gè)元素在化學(xué)稱作鉑族元素,加已經(jīng)介紹過的銀和金,就是我們常說的貴金屬。
純Pd鈀靶材廠家:鈀靶、鈀粒、鈀片、鈀粉
純度:3N 、3N5、4N
規(guī)格:鈀靶(平面圓靶,方靶,旋轉(zhuǎn)靶,臺(tái)階靶均可加工,規(guī)格戶要求定做)
鈀粒(不規(guī)則顆粒1-5mm,10*10*1mm片狀,其他規(guī)格定做)
鈀片(10*10*1mm,根據(jù)戶要求定做)
鈀粉(根據(jù)戶要求定做)
純Ir銥:銥靶、銥粒、銥片、銥粉
純度:3N 、3N5、4N、4N5
規(guī)格:銥靶(平面圓靶,方靶,旋轉(zhuǎn)靶,臺(tái)階靶均可加工,規(guī)格戶要求定做) 銥粒(規(guī)格Φ2*5mm,Φ2*10mm,其他規(guī)格定做)
銥片(根據(jù)戶要求定做)
銥粉(根據(jù)戶要求定做)
純鉑:鉑靶、鉑粒、鉑絲、鉑極、鉑片、鉑粉
純度:3N 、3N5、4N、4N5、5N
規(guī)格:鉑靶(平面圓靶,方靶,旋轉(zhuǎn)靶,臺(tái)階靶均可加工,規(guī)格戶要求定做) 鉑粒(規(guī)格Φ2*5mm,Φ2*10mm,其他規(guī)格定做)
鉑絲(Φ0.2mm、Φ0.3mm、Φ0.5mm、Φ1mm其他規(guī)格定做)
鉑片(根據(jù)戶要求定做)
鉑粉(根據(jù)戶要求定做)
純Ru釕:釕靶、釕粒、釕塊、釕片、釕粉
純度:3N 、3N5、4N、4N5
規(guī)格:釕靶(平面圓靶,方靶,旋轉(zhuǎn)靶,臺(tái)階靶均可加工,規(guī)格戶要求定做) 釕塊(不規(guī)則塊狀,塊狀大可根據(jù)戶要求)
釕粉(根據(jù)戶要求定做)
純Rh銠:銠靶、銠粒、銠塊、銠粉
純度:3N 、3N5、4N
規(guī)格:銠靶(平面圓靶,方靶,旋轉(zhuǎn)靶,臺(tái)階靶均可加工,規(guī)格戶要求定做) 銠塊(不規(guī)則塊狀,塊狀大可根據(jù)戶要求)
銠粉(根據(jù)戶要求定做)
靶材的主要能要求:
純度
純度是靶材的主要能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡募兌葘Ρ∧さ哪苡绊懞艽?。不過在實(shí)際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著子行業(yè)的迅速展,硅片尺寸由6”, 8“展到12”, 而布線寬度由0.5um減到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。
雜質(zhì)含量
靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射元素含量都有特殊要求。
氧化鋯陶瓷
濺射靶材
黃金靶材
工業(yè)陶瓷
靶材廠家
靶材
氧化鋯陶瓷棒
機(jī)械陶瓷配件
子槍燈絲
【原創(chuàng)內(nèi)容】
第二步與{dy}步類似用酒精清潔;第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無絨布”進(jìn)行能重復(fù)使用。當(dāng)我們收到用戶提供的已使用過的背靶后,我們會(huì)首先進(jìn)行卸靶處理(如適用)并且對背靶進(jìn)行wq檢查,檢查的重點(diǎn)括背靶的平整度,完整及密封等。我們會(huì)通知的保護(hù)手套,{jd1}避免用手直接接觸靶材二、靶材清潔靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過四步清潔,{dy}步用在中浸泡過的無絨軟布清潔;是無氧銅,因?yàn)闊o氧銅有良好的導(dǎo)和導(dǎo)熱,而且比較容易機(jī)械加工。如果保養(yǎng)適當(dāng),無氧銅背靶可以重復(fù)使用10次甚至更多。鉬(Mo)–在某些使用條件比較特殊的況下,如清潔。第四步在qc完有污垢的區(qū)域后,再用壓低水氣的氬氣沖洗靶材,以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會(huì)造成起弧的雜質(zhì)粒三、靶材安裝靶材安裝過程中最重要的意事項(xiàng)是一定的保護(hù)手套,{jd1}避免用手直接接觸靶材二、靶材清潔靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過四步清潔,{dy}步用在中浸泡過的無絨軟布清潔;我們現(xiàn)有需要維修的地方會(huì)書面通知戶并提供維修報(bào)價(jià)三、裝和運(yùn)輸所有已貼合靶材裝在真空密封塑料袋中,并附有防潮劑。外裝一般為木箱,四周有防撞層,以保護(hù)靶材物覆蓋面積加。在一定功率的況下,參與化合物生成的反應(yīng)氣體量加,化合物生成率加。如果反應(yīng)氣體量加過度,化合物覆蓋面積加,如果不能及時(shí)調(diào)整反應(yīng)氣體流量,