產(chǎn)品描述:
SJ系列玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人用于搬運(yùn)第5代到第8代平板顯示器用大型玻璃基板的機(jī)器人。通過采用屈伸型結(jié)構(gòu),發(fā)揮高潔凈性能,最適用于需要控制顆粒的無塵車間內(nèi)的作業(yè)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
應(yīng)用于第7代~第9代基板的系列產(chǎn)品: 適用于包括第7代的SJ80C,以及第8,9代的SJ120C,級別{zg}的旋轉(zhuǎn)速度和前后軸速度: 在所有尺寸中均縮短了周期,上下軸采用獨(dú)有的連桿結(jié)構(gòu): 能夠抑制彎曲和振動的高剛度結(jié)構(gòu),無帶式結(jié)構(gòu),確保高可靠性和*性,活動部分的布線全部內(nèi)置于手臂內(nèi): 防止發(fā)生微米級塵埃,并使外觀保持整潔。
產(chǎn)品參數(shù):
系列
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SJ80C
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SSJ120CJ120C
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機(jī)器人型號
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SJ80C-18D-01
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SJ80C-24D-01
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SJ120C-28D-01
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SJ120C-28S-01
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清潔度
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10級(0.3μm)*1
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10級(0.3μm)*2
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自由度
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4
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4
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3
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驅(qū)動方式
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AC伺服方式
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最
大
工
作
范
圍
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X1
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前后1
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3,670mm
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4,480mm
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X2
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前后2
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3,670mm
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4,480mm
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θ
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轉(zhuǎn)動
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(+145°~-195°)
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(+195°~-145°)
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Z
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上 下
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1,800mm
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2,400mm
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2,800mm
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最
大
速
度
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X1
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前后1
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3,000mm/sec
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3,600mm/sec
|
X2
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前后2
|
3,000mm/sec
|
3,600mm/sec
|
-
|
θ
|
轉(zhuǎn)動
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3.14rad/sec (180°/sec)
|
Z
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上 下
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1,100mm/sec
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1,450mm/sec
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1,050mm/sec
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搬運(yùn)重量
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每個臂80kg(合計(jì)135kg)
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{zd0}90kg
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{zd0}120kg
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位置反復(fù)精度
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±0.3mm
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周圍溫度
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0~35°C
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設(shè)置條件
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落地式
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主機(jī)重量
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1,175kg
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1,200kg
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1,880kg
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1,680kg
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