潔凈度級別
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潔凈度級別
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塵粒{zd0}允許數(shù)
≥0.5μm（個/m3）
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微生物{zd0}允許數(shù)
≥5μm（個/m3）
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浮游菌（個/m3）
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沉降菌（個/m3）
（cfu/cm2）
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100級
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3500
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0
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5
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1
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1000級
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35000
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300
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萬級
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35萬
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2000
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100
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3
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10萬級
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350萬
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2萬
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500
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10
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30萬級
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1050萬
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6萬
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1000
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15
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可將萬級潔凈室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室{zd0}塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
萬級潔凈室的潔凈標準
潔凈度等級塵粒{zd0}允許數(shù)/pc.m3換氣次數(shù)/h氣流流型
≥0.5μm≥5μm
100 0003 500 00020 00010~15非單向流
潔凈度等級塵粒{zd0}允許數(shù)/pc.m3換氣次數(shù)/h氣流流型
≥0.5μm≥5μm
100 0003 500 00020 00010~15非單向流
1.塵粒{zd0}允許數(shù)（每立方米）；
2.大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過3500000個，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過20000個；
3.微生物{zd0}允許數(shù)；
4.浮游菌數(shù)不得超過500個每立方米；
5.沉隆菌數(shù)不得超過10個每培養(yǎng)皿。
壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。
萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃；夏季 24~26℃；波動±2℃。
冬季潔凈室濕度控制在30－50％，夏季潔凈室濕度控制在50－70％。
配電：潔凈室（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。
噪聲控制：
一、動態(tài)測試時，萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。
二、靜態(tài)測試時，萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。
氣流組織：
十萬級潔凈室主要采用的送風方式：
1、局部孔板頂棚送風 ；
2、帶擴散板{gx}空氣過濾器頂棚送風；
3.上側(cè)墻送風 等三種送風方式。
十萬級潔凈室主要采用的回風方式：
1、單側(cè)墻下部布置回風口；
2、當采用走廊回風時，在走廊內(nèi)均勻布置回風口或在走廊端部集中設(shè)置回風口 。
送風口風速米／秒）：
1.孔板孔口3～5；
2、側(cè)送風口：
⑴貼附射流2～5 ；
⑵非貼附射流同側(cè)墻下部回風1.5～2.5，對側(cè)墻下部回鳳1.0～1.5 。
回風口風速（米／秒）：
1、潔凈室回風口不大于2；
2、走廊內(nèi)回風口不大于4。
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