RTS-4四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用儀器。
    儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
    儀器采用了{(lán)zx1}電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
    RTS-4四探針測(cè)試儀軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
    RTS-4四探針測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)
    測(cè)量范圍
    電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；
    方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；
    電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
    電阻：0.0001～2000Ω；
    可測(cè)晶片直徑
    140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
    200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
    400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；
    恒流源：電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
    數(shù)字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；
    分辨力：10μV；
    輸入阻抗：>1000MΩ；
    精度：±0.1% ；
    顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；
    四探針探頭基本指標(biāo)    間距：1±0.01mm；
    針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
    機(jī)械游移率：≤0.3%；
    探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
    探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
    四探針探頭應(yīng)用參數(shù)    (見(jiàn)探頭附帶的合格證)
    模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
    ( 按JJG508-87進(jìn)行)    0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
    整機(jī)測(cè)量{zd0}相對(duì)誤差   (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
    整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度    ≤5%
    軟件功能（選配）軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù){zd0}值、最小值、平均值、{zd0}百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
    計(jì)算機(jī)通訊接口：并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒
    標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境  溫度：23±2℃；
    相對(duì)濕度：≤65%；
    無(wú)高頻干擾；
    無(wú)強(qiáng)光直射。
來(lái)源：四探針測(cè)試儀   http:///tjzongke-ParentList-1169660/
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