移動(dòng)型 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 移動(dòng)型 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對(duì)大型部件設(shè)計(jì)研發(fā), 配有干式非接觸式前級(jí)真空泵和渦輪分子泵, ASM 392 內(nèi)置2臺(tái)渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產(chǎn)設(shè)備的停機(jī)時(shí)間, ASM 390, ASM 392 對(duì)氦氣的快速抽空能力和較短的響應(yīng)時(shí)間使其成為同類型中的佼佼者！
ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢(shì):
1. 強(qiáng)大的抽空能力
2. 極短的測(cè)試時(shí)間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無(wú)需工具即可旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學(xué)設(shè)計(jì), 移動(dòng)性強(qiáng)
5. 通過(guò) CE 認(rèn)證, ETL 認(rèn)證, UL61010 合規(guī), 符合 Semi S2 標(biāo)準(zhǔn)
6. 可用于半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求嚴(yán)苛的應(yīng)用
上海伯東 Pfeiffer 移動(dòng)型氦質(zhì)譜 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術(shù)參數(shù)對(duì)比:
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型號(hào)
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ASM 390
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ASM 392
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ASM 380 已停產(chǎn)
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檢測(cè)氣體
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4He, 3He, H2
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最小檢測(cè)漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
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對(duì)氦氣的抽速
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10 l/s
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25 l/s, 內(nèi)置2臺(tái)分子泵
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7 l/s
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前級(jí)泵抽速
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35 m3/h
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進(jìn)氣口Max壓力
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20 mbar
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20 mbar
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15 mbar
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無(wú)校準(zhǔn)的啟動(dòng)時(shí)間(20°C)
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2 min
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2 min
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< 4.5 min
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進(jìn)氣口
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DN 40 ISO-KF
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響應(yīng)時(shí)間
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< 1 s
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Interface, 選配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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≤ 55 dB (A)
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53 dB (A)
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重量
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125 kg
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130 kg
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110 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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1072 x 455 x 1025 mm
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1065 X 455 X 1025 mm
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移動(dòng)型 ASM 390 應(yīng)用案例
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激光器零件檢漏
應(yīng)用于航天領(lǐng)域的激光器零件檢漏, 中空夾層設(shè)計(jì), 僅在兩端焊接密封, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
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氦質(zhì)譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器主要用于半導(dǎo)體管路中氣體減壓, 調(diào)節(jié)氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S
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氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體用配管配件檢漏
定制不銹鋼管, 配件和歧管廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體廠務(wù)端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)管路, 然后對(duì)不同管路的口徑進(jìn)行焊接, 產(chǎn)品漏率值需要達(dá)到 <1E-9mar l/s
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氦質(zhì)譜檢漏儀熱交換器檢漏
對(duì)應(yīng)用于工業(yè)的體積 >1000L 的熱交換器進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率要求 1x10-6 mbar l/s.
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結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 伯東 Pfeiffer 提供完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn). 滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在系統(tǒng)或 PLC.
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