便攜式 ASM 310
上海伯東銷售維修德國(guó) Pfeiffer 便攜式 ASM 310 設(shè)計(jì)緊湊, 重量?jī)H 21kg, 占用空間小, 前級(jí)泵清潔無(wú)油, 通用電壓, 滿足無(wú)污染工藝要求. 便攜式 ASM 310 是目前市場(chǎng)上同類型檢漏儀中輕便緊湊的產(chǎn)品!
便攜式 ASM 310 特性：
1. 集成無(wú)油真空系統(tǒng): 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 +
2. 支持真空或吸槍檢漏模式, 重量?jī)H 21 Kg
3. 氦氣抽速 1.1l/s, 進(jìn)氣口壓力 15 hPa
4. 豐富的可選配件: 吸槍, 遙控器, 小推車, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等, 兼容 RC 10 遙控器
5. 帶有可伸縮手柄的靈巧設(shè)計(jì)
6. 可以在任意位置操作: 水平或垂直, 較低的維護(hù)
7. USB 接口, 方便數(shù)據(jù)傳輸,
8. 帶有圖像功能的大屏幕高亮度彩色觸摸屏, 10種語(yǔ)言可選
便攜式 ASM 310 技術(shù)參數(shù)：
|
便攜式
|
ASM 310
|
|
對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率
|
真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
|
|
檢測(cè)模式
|
真空模式和吸槍模式
|
|
無(wú)油前級(jí)泵抽速
|
1.7m3/h
|
|
檢測(cè)氣體
|
4He , 3He, H2
|
|
響應(yīng)時(shí)間
|
<1s
|
|
對(duì)氦氣的抽氣速度
|
1.1 l/s
|
|
進(jìn)氣法蘭
|
DN 25 ISO-KF
|
|
進(jìn)氣口壓力
|
15 hPa
|
|
通訊接口
|
RS-232
|
|
工作溫度
|
10-40 °C
|
|
噪音水平
|
< 45 dB (A)
|
|
Interface
|
RS-232, I/O, USB
|
|
電壓
|
90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用電壓
|
|
功耗
|
300 VA
|
|
啟動(dòng)時(shí)間
|
< 2 min
|
|
尺寸
|
350 X 254 X 415 mm
|
|
重量
|
21 kg
|
便攜式 ASM 310 尺寸：
.jpg)
便攜式 ASM 310 常用配件:
|
吸槍
|
遙控器 RC 10
|
2輪推車
|
運(yùn)輸箱
|
|
|
.jpg)
|
|
|
Pfeiffer 便攜式 ASM 310 應(yīng)用：
1. 半導(dǎo)體, 鍍膜, 太陽(yáng)能
2. 分析儀器, 科研, 加速器質(zhì)譜
3. 工業(yè), 電廠, 化工
4. 系統(tǒng)集成
上海伯東檢漏儀客戶案例
|
半導(dǎo)體用光刻機(jī)檢漏, 整機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用負(fù)壓法檢漏. 漏率設(shè)置 5x10-11pa m3/s.
|
|
|
內(nèi)部集成紅外探測(cè)器的 2m3 杜瓦封裝器件, 應(yīng)用于火星探測(cè)項(xiàng)目, 杜瓦封裝器件采用真空模式檢漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
|
|
|
超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 為保證較高的真空度, 需要對(duì)整個(gè)真空系統(tǒng)的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進(jìn)行泄漏檢測(cè). 為保證實(shí)驗(yàn)腔體的清潔干燥, 選擇前級(jí)泵為干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀
|
|
