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光刻機
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光刻機

光刻機 相關(guān)信息由 鑫有研電子科技(上海)有限公司提供。如需了解更詳細的 光刻機 的信息,請點擊 http://www.nnfsds.com/b2b/sinuan.html 查看 鑫有研電子科技(上海)有限公司 的詳細聯(lián)系方式。

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鑫有研電子科技(上海)有限公司
021-51089942
上海市楊浦區(qū)寧國路313號龍澤大廈9號906室
siyouyen@sina.com
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鑫有研電子科技(上海)有限公司

“SIYOUYEN”概念源自于21世紀初期美國,意為科技在社會技術(shù)方面應(yīng)用的wm體現(xiàn)。擁有“wm生活,wm科技”之桂冠美譽。 商標持有人:鑫有研企業(yè)集團(香港)有限公司系一家專注于微電子工藝設(shè)備技術(shù),真空技術(shù),傳動控制技術(shù)等科技類投資型企業(yè)公司。公司投資合作伙伴有意大利MICHELLE集團與香港CIG集團。 1、微電子工藝設(shè)備方面 SIYOUYEN公司在半導(dǎo)體、太陽能、FPD領(lǐng)域濕制程設(shè)備的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售;同時代理半導(dǎo)體、太陽能、FPD領(lǐng)域及其它國外設(shè)備,負責在中國市場的開發(fā)、推廣、服務(wù)! 2、真空技術(shù)設(shè)備方面 SIYOUYEN公司在真空行業(yè)領(lǐng)域,通過引近韓國、德國先進的真空技術(shù)與合作,開發(fā)出了旋片真空泵,無油真空泵,防爆真空泵等。同時與韓國WONCHANG,韓國DOOVAC,韓國NARA,韓國G&M,韓國KMC,意大利DVP,等形成戰(zhàn)略聯(lián)盟,致力于真空技術(shù)的推廣與銷售。 3、傳動控制技術(shù)方面 SIYOUYEN公司在傳動技術(shù)方面與國家各個重點科研領(lǐng)域機構(gòu)合作(質(zhì)檢,光學(xué),教育,航天,海洋,石油,制藥,檢測等)共同致力于節(jié)能減排低碳環(huán)保,涉及節(jié)能環(huán)保技術(shù)、設(shè)備、產(chǎn)品和服務(wù)等方面 鑫有研公司在設(shè)計,制造,銷售,服務(wù)過程中嚴格按照ISO9001:2000國際質(zhì)量管理體系執(zhí)行。并且本公司擁有一批技術(shù)先進、服務(wù)優(yōu)良的高素質(zhì)人才,和完善的售后服務(wù)體系。產(chǎn)品以其{zy1}的品質(zhì)進入國際國內(nèi)市場,為ggcd工程配套、環(huán)保工業(yè)、科研、信息產(chǎn)業(yè)等做出了較大的貢獻,獲得了廣大用戶的好評和信賴。 我們將繼續(xù)以嚴謹?shù)膽B(tài)度始終堅持保證產(chǎn)品品質(zhì)和信譽為本,用戶至上的經(jīng)營原則,不斷創(chuàng)造、創(chuàng)新服務(wù)于用戶。
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光刻機

型號:17


 


1、采用多反射鏡實現(xiàn)均勻照明;   
2
、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高;      
3
、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,

并提供USB輸出;既滿足高精度對準,又可用于檢測曝光結(jié)果,且曝光

結(jié)果和方便存儲;    
4
、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)       
5
、手動上下版、樣片,手動調(diào)平;手動分離間隙。       
6
、快門可以單獨開啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動djs曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s       
7
、采用200W進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;設(shè)備外形美觀精制

性能非常可靠

 

二、主要技術(shù)指標: 
1
、曝光面積:ф100mm; 
2
、分辨力:  1.7μm(膠厚2 μm的正膠); 
3
、對準精度:  ±1μm;   
4
、掩模樣片整體運動范圍:X6mm;Y:6mm; 
5
、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch5 inch; 
6
、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、 
        厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm) 
7
、照明均勻性:±6%ф100mm 范圍); 
8
、掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm;  Y: ±5mm; θ: ±6°; 
9
、汞燈功率:200W(直流);
10
、曝光波長:365nml      
11
、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l     
12
、曝光方式:定時(到計時方式)
13
、外形尺寸:650mm(長)′600mm()′900mm(高)

 

鄭重聲明:產(chǎn)品 【光刻機】由 鑫有研電子科技(上海)有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫www.nnfsds.com)證實,請讀者僅作參考,并請自行核實相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請你提供相關(guān)證明及申請并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會盡快處理。
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