光刻機
型號:17
1、采用多反射鏡實現(xiàn)均勻照明;
2、采用球氣浮找平,調(diào)平精度高;
3、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,
并提供USB輸出;既滿足高精度對準,又可用于檢測曝光結(jié)果,且曝光
結(jié)果和方便存儲;
4、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,溫度小于35度)
5、手動上下版、樣片,手動調(diào)平;手動分離間隙。
6、快門可以單獨開啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動djs曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999s)
7、采用200W進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;設(shè)備外形美觀精制
性能非常可靠
二、主要技術(shù)指標:
1、曝光面積:ф100mm;
2、分辨力: 1.7μm(膠厚2 μm的正膠);
3、對準精度: ±1μm;
4、掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm;
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch;
6、樣片尺寸:直徑ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
7、照明均勻性:±6%(ф100mm 范圍);
8、掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°;
9、汞燈功率:200W(直流);
10、曝光波長:365nml
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波長小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式:定時(到計時方式)
13、外形尺寸:650mm(長)′600mm(寬)′900mm(高)