在一個(gè)周期內(nèi)存在正電壓和負(fù)電壓兩個(gè)階段,在負(fù)電壓段,中山真空電鍍電源銷售電源工作于靶材的濺射,正電壓段,引入電子中和靶面累積的正電荷,并使表面清潔,裸露出金屬表面。
加在靶材上的脈沖電壓與一般磁控濺射相同!為400~500V,電源頻率在10~350KHz,在保證穩(wěn)定放電的前提下,應(yīng)盡可能取較低的頻率#由于等離子體中的電子相對離子具有更高的能動性,雙脈沖磁控濺射電源因此正電壓值只需要是負(fù)電壓的10%~20%,就可以有效中和靶表面累積的正電荷。中山雙脈沖磁控濺射電源供應(yīng)占空比的選擇在保證濺射時(shí)靶表面累積的電荷能在正電壓階段被wq中和的前提下,盡可能提高占空,以實(shí)現(xiàn)電源的{zd0}效率。