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流磁控濺射電源

作者:中山市昊源電器設(shè)備有限公司 來(lái)源:zshaoyuan 發(fā)布時(shí)間:2015-04-02 瀏覽:367

開關(guān)K以一定的時(shí)間間隔重復(fù)地接通和斷開,在開關(guān)K接通時(shí),輸入電源E通過(guò)開關(guān)K和濾波電路提供給負(fù)載RL,在整個(gè)開關(guān)接通期間,電源E向負(fù)載提供能量;當(dāng)開關(guān)K斷開時(shí),流磁控濺射電源輸入電源E便中斷了能量的提供。可見(jiàn),輸入電源向負(fù)載提供能量是斷續(xù)的,為使負(fù)載能得到連續(xù)的能量提供,開關(guān)穩(wěn)壓電源必須要有一套儲(chǔ)能裝置,在開關(guān)接通時(shí)將一部份能量?jī)?chǔ)存起來(lái),在開關(guān)斷開時(shí),向負(fù)載釋放。圖中,由電感L、電容C2和二極管D組成的電路,就具有這種功能。電感L用以儲(chǔ)存能量,在開關(guān)斷開時(shí),中山中頻濺射電源廠家儲(chǔ)存在電感L中的能量通過(guò)二極管D釋放給負(fù)載,使負(fù)載得到連續(xù)而穩(wěn)定的能量,因二極管D使負(fù)載電流連續(xù)不斷,所以稱為續(xù)流二極管。在AB間的電壓平均值EAB可用下式表示:

EAB=TON/T*E

式中TON為開關(guān)每次接通的時(shí)間,T為開關(guān)通斷的工作周期(即開關(guān)接通時(shí)間TON和關(guān)斷時(shí)間TOFF之和)。

由式可知,改變開關(guān)接通時(shí)間和工作周期的比例,直流磁控濺射偏壓電源AB間電壓的平均值也隨之改變,因此,隨著負(fù)載及輸入電源電壓的變化自動(dòng)調(diào)整TON和T的比例便能使輸出電壓V0維持不變。改變接通時(shí)間TON和工作周期比例亦即改變脈沖的占空比,這種方法稱為“時(shí)間比率控制”(Time Ratio Control,縮寫為TRC)。

鄭重聲明:資訊 【流磁控濺射電源】由 中山市昊源電器設(shè)備有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫(kù)www.nnfsds.com)證實(shí),請(qǐng)讀者僅作參考,并請(qǐng)自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請(qǐng)你提供相關(guān)證明及申請(qǐng)并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會(huì)盡快處理。
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