PTFE(聚四氟乙烯)是一個(gè)被半導(dǎo)體工業(yè)采用的含氟聚合物,其次是PFA(過氟烷基化物)。
區(qū)別:
1.PFA是可熔化加工的,它是可以加熱到熔化,通過注塑成型或者吹塑成型;PTFE必須通過機(jī)械加工或者壓縮成型。
2.PFA更清潔?!扒鍧崱笔侵甘褂肞FA制造比用PTFE制造的部件痕量金屬含量更低,原因在于:制造工藝不同,PFA使用的注塑或者吹塑工藝比PTFE所使用的機(jī)械加工和壓縮成型過程要清潔的多;PFA原料本身是高純度等級(jí),而PTFE一般無法達(dá)到相同純度等級(jí)。
半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,清洗工藝尤其關(guān)鍵。
清洗過程中的效率直接影響到半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量和性能。
PFA耗材是清洗工藝?yán)锊豢苫蛉钡漠a(chǎn)品
電子級(jí)取樣瓶
濕電子化學(xué)品—半導(dǎo)體、微電子、光電子濕法工藝(濕法刻蝕、清洗、
PFA燒杯
顯影、互聯(lián)等)制程中使用的各種電子化工材料。
按照SEMI登記的分類,濕電子化學(xué)品可劃分為G1-G5五個(gè)等級(jí):
按用途分為通用化學(xué)品(高純?cè)噭┖凸δ苄曰瘜W(xué)品(以光刻膠配套的試劑為代表)。
國內(nèi)生產(chǎn)相關(guān)高純?cè)噭┥a(chǎn)企業(yè)(多氟多、濱化股份,新宙邦等),部分企業(yè)一直在使用我們的PFA產(chǎn)品。
PFA清洗槽