在制造業(yè)工廠生產(chǎn)過(guò)程中，真空泵是一個(gè)至關(guān)重要的設(shè)備。它的作用是將氣體排出設(shè)備，從而創(chuàng)造一個(gè)真空環(huán)境，以確保半導(dǎo)體生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。然而，由于長(zhǎng)期使用和不當(dāng)維護(hù)，真空泵可能會(huì)出現(xiàn)故障，影響生產(chǎn)效率。

中山維修真空泵的要點(diǎn)是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因。

是真空泵的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需要耐心觀察和記錄，從中找出故障原因，比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計(jì)指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油被污染了，氧化了等；或是前級(jí)管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。

在真空設(shè)備維修中用戶蕞頭疼的一定是檢測(cè)漏率問(wèn)題了。漏分內(nèi)漏和外漏；外漏比較好檢測(cè)，內(nèi)漏則難辦些。外漏較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。內(nèi)漏則要從不同真空工作區(qū)域分區(qū)排查，在真空系統(tǒng)達(dá)到一定壓力值后，分別啟動(dòng)卷繞和蒸發(fā)系統(tǒng)，觀察真空計(jì)的讀數(shù)在短暫下降后有無(wú)爬升，可以初步判斷內(nèi)漏點(diǎn)方向。內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷卻點(diǎn)的設(shè)備上，在查外漏沒(méi)有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，但是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速明顯偏低，真空計(jì)示值低，機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕等，具備以上條件基本可以推斷內(nèi)漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細(xì)查看通水管路有無(wú)濕潤(rùn)點(diǎn)，濕潤(rùn)處就是漏點(diǎn)。

說(shuō)到這里可能的大家覺(jué)得好像檢漏也不是那么難啊，為啥說(shuō)是蕞頭疼的問(wèn)題呢， 其實(shí)呢，大的漏點(diǎn)并不難找，蕞困難的是小漏和微漏了。

可以利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，結(jié)合指針式真空計(jì)，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)，用這種方法檢漏一定要有耐心，要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了，也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴射，反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)。

中山維修真空泵一定要注意幾個(gè)環(huán)節(jié)，拆卸、清潔、檢驗(yàn)、裝配。真空設(shè)備無(wú)論大小都屬于精密機(jī)械設(shè)備，這點(diǎn)很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時(shí)要干凈、徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問(wèn)題和查出隱患；真空泵類產(chǎn)品與一般機(jī)械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機(jī)械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應(yīng)多加小心，切記。

檢查漏點(diǎn)是個(gè)細(xì)致活，每個(gè)細(xì)節(jié)都不要落掉，更不能存在僥幸心理。經(jīng)常有廠家來(lái)求助，說(shuō)什么都查了，就是真空上不去，可能就是一根供氣的真空膠管沒(méi)查，或者一個(gè)水接頭處。問(wèn)題往往出現(xiàn)在不經(jīng)意之處。

中山維修真空泵切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當(dāng)然地開(kāi)始動(dòng)手拆卸，會(huì)舊病未除又添新病，把本來(lái)簡(jiǎn)單的問(wèn)題搞復(fù)雜化了。

有很多廠家問(wèn)到，常規(guī)的中山維修真空泵可以按部就班地去做，應(yīng)急條件下設(shè)備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下應(yīng)該如何處理？ 這時(shí)，只要判斷故障準(zhǔn)確，采用手頭上現(xiàn)有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料，只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進(jìn)行修理，應(yīng)急的原則是在不損壞設(shè)備和不影響在制品的條件下做到設(shè)備能正常生產(chǎn)。          

真空設(shè)備的配套領(lǐng)域愈來(lái)愈廣，很多是與電、電磁、水、氣源和制冷有關(guān)的。相當(dāng)多的情況下不是單一部分的問(wèn)題，這一點(diǎn)讓人難以在故障排查中進(jìn)行綜合考量，有的是機(jī)械裝配中精度不到位造成的，有的是絕緣材料或結(jié)構(gòu)上的問(wèn)題，這時(shí)，不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸設(shè)備，應(yīng)認(rèn)真查勘分析故障現(xiàn)象，以及請(qǐng)教設(shè)備廠家專業(yè)人員，避免誤拆誤卸造成不必要的損失。

良好的真空度是真空設(shè)備運(yùn)行的前提，在日常使用中，好凱德真空科技也希望大家能認(rèn)真仔細(xì)的做好常規(guī)維護(hù)，防小微杜大患，穩(wěn)定生產(chǎn)以獲取蕞大利潤(rùn)。       http://www.zshaitai.com/