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計算全息圖 CGH 作為零位補償器廣泛應用于高精度非球面的檢測, 但 CGH 的基底誤差直接限制了非球面的檢測精度. 某制造商為了獲得超高精度的 CGH 基底, 采用 KRI 考夫曼 RFICP220 產(chǎn)生的離子束用于修正高精度 CGH 基底的加工工藝.
伯東 KRI RFICP 220 技術(shù)參數(shù):
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型號 |
RFICP 220 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>800 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
20 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
10-40 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
30 cm |
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直徑 |
41 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量
運行結(jié)果：
1. KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP220 產(chǎn)生的離子束修正工藝作為一種非接觸式確定性光學加工方法, 不僅不會對元件表面施加作用力, 而且還具有加工精度高、去除函數(shù)穩(wěn)定、面形收斂速度快、無邊緣效應和亞表面損傷等特點, 非常適用于高精度 CGH 基底的加工.
2. 應用離子束修正高精度 CGH 基底的加工工藝具有較大優(yōu)勢, 不僅具有較高的加工效率而且可以獲得超高的加工精度
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