一、硅材料沖洗用高純水設(shè)備應(yīng)用范圍概述： 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗 電子管生產(chǎn)　電子管陰極涂敷碳酸鹽配液 顯像管和陰極射線管生產(chǎn)　配料用純水 黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)　玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水 液晶顯示器的生產(chǎn)　屏面需用純水清洗和用純水配液 晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片 二、典型工藝流程 預(yù)處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－粗混合床－精混合床－純水箱－純水泵－紫外線sj器－拋光混床－精密過濾器－用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝) 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線sj器－拋光混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥18MΩ.CM）({zx1}工藝) 預(yù)處理－一級反滲透－加藥機（PH調(diào)節(jié)）－中間水箱－第二級反滲透（正電荷反滲膜）－純水箱－純水泵－EDI裝置－紫外線sj器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥17MΩ.CM） ({zx1}工藝) 預(yù)處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純水箱－純水泵－紫外線sj器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象（≥15MΩ.CM）({zx1}工藝) 處理系統(tǒng)－反滲透系統(tǒng)－中間水箱－純水泵－粗混合床－精混合床－紫外線sj器－精密過濾器－用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝) 三、達到標準 顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)（經(jīng)驗數(shù)據(jù)） 集成電路用純水水質(zhì) 國家電子級純水標準 美國SEMI標準 四、設(shè)備特點 為滿足用戶需要，達到符合標準的水質(zhì)，盡可能地減少各級的污染，延長設(shè)備的使用壽命、