LW300MT硅芯片檢查顯微鏡 LW300MT硅芯片檢查顯微鏡 產(chǎn)品概述：
LW300MT硅芯片檢查顯微鏡專為微電子行業(yè)量身定做，適用于硅、砷化鎵、磷化銦等基片6″8″盤的生產(chǎn)工藝檢查；可以方便的快移和jq的位移檢查；也可以適用其它需較大面積標(biāo)本的工藝檢查
技術(shù)參數(shù)：
目 鏡: 10X 廣角目鏡, 焦距25 mm, 視場數(shù)Φ22 mm。
三目鏡: 30°傾斜，瞳距：53~75 mm。
物 鏡: 無限遠(yuǎn)平場消色差明/暗視場物鏡 (無蓋玻片)
放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑 工作距離(mm) 備注
5X 0.12 9.70
10X 0.25 3.73
20X 0.40 7.23
40X 0.60 3.04
轉(zhuǎn)換器: 四孔滾珠內(nèi)定位轉(zhuǎn)換器。
載物臺: 雙層機(jī)械式載物臺, 尺寸：210 X 140 mm，移動范圍：75 X 50 mm。
聚光鏡: 阿貝聚光鏡（帶孔徑光欄, 數(shù)值孔徑1.25）。
調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微同軸調(diào)焦，粗動手輪松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動格值2μm/格。
照 明: 上光源（落射照明）12V50W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
下光源（透射照明）12V30W 鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。
電 源：輸入電源電壓 (85~265V 50/60Hz)。技術(shù)參數(shù)
目 鏡: 10X 廣角目鏡, 焦距25 mm, 視場數(shù)Φ22 mm。
三目鏡: 30°傾斜，瞳距：53~75 mm。
