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u 鑄鐵基座保證整體穩(wěn)定性。
u {yx}的高倍率光學(xué)系統(tǒng)。
u 全新冷光纖或LED點(diǎn)光源照明系統(tǒng)
u 光學(xué)接觸式高精度Z軸測(cè)量
u 無間隙絲杠載物臺(tái)保證測(cè)量精度
u 校驗(yàn)級(jí)精度 1.5+L/100um
u xc自應(yīng)力鑄鐵基座
u 采用CAE定位系統(tǒng)
u 3S技術(shù)確保Z軸垂直度
u 雙平衡裝置保證調(diào)焦無均勻