小型直流式磁控濺射儀KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。
*外形小巧方便移動
*觸摸屏控制,工藝記憶儲存方便鍍相同樣品
*自動化電動擋板,能自動打開關(guān)閉,保證鍍樣時間和保護樣品
*石英+不銹鋼腔體,方便觀察和清洗
小型直流式磁控濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術(shù)參數(shù);
控制方式
|
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
|
濺射電源
|
直流濺射電源
|
鍍膜功能
|
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
|
功率
|
≤1000W
|
輸出電壓電流
|
電壓≤1000V 電流≤1A
|
真空
|
機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa
|
濺射真空
|
≤30Pa
|
擋板類型
|
電控
|
真空腔室
|
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
|
樣品臺
|
可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)
|
樣品臺轉(zhuǎn)速
|
8轉(zhuǎn)/分鐘
|
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離
|
40-105mm
|
真空測量
|
皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)
|
預留真空接口
|
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
|