PECVD射頻模塊:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
PECVD射頻模塊的技術(shù)資料
型號(hào)
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KT--PE150S
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KT-PE500Z
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信號(hào)頻率
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13.56MH? ±0.005%
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功率輸出范圍
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0-150W
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0-500W
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功率穩(wěn)定度
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≤5W
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反射功率
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40W
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射頻輸出接口
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7/16 female 50 Ω
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功率穩(wěn)定度
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≤5W
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匹配方式
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手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配
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500W自動(dòng)匹配
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耦合方式
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電感式耦合
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輝光壓力
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≤30Pa
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供電電壓
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AC220V±10% 50/60H?
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整機(jī)效率
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≥70%
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冷卻方式
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強(qiáng)制風(fēng)冷
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支持爐管直徑
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Φ25mm--φ80mm
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Φ25mm--150mmφ
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感應(yīng)區(qū)
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210mm
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整機(jī)重量
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48KG
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整機(jī)尺寸:H×W×D(mm)
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600×600×1100
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