產(chǎn)品用途：探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。
該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60＊60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到400℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為x/y/z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中x方向調(diào)節(jié)范圍：0--30mm; y方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0—20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需要檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架x/y/z方向行程，通過(guò)顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。
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真空腔體
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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上蓋開(kāi)啟
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鉸鏈側(cè)開(kāi)
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加熱臺(tái)材質(zhì)
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304不銹鋼
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內(nèi)腔體尺寸
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φ160x90mm
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觀察窗尺寸
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Φ70mm
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加熱臺(tái)尺寸
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φ60mm
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觀察窗熱臺(tái)間距
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75mm
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加熱臺(tái)溫度
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﹣196~350℃
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加熱臺(tái)溫控誤差
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±1℃
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真空度
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機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允許正壓
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≤0.1MPa
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真空抽氣口
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KF25真空法蘭
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氣體進(jìn)氣口
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3mm-6mm卡套接頭
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電信號(hào)接頭
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SMA轉(zhuǎn)BNC X 4
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
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探針數(shù)量
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4探針
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探針材質(zhì)
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鎢針
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探針尖
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10μm
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探針移動(dòng)平臺(tái)
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X軸移動(dòng)行程
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30mm ±15mm
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X軸控制精度
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≤0.01mm
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Y軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Y軸控制精度
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≤0.01mm
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Z軸移動(dòng)行程
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13mm ±12.5mm
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Z軸控制精度
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≤0.01mm
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電子顯微鏡
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顯微鏡類(lèi)別
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物鏡
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物鏡倍數(shù)
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0.7-4.5倍
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工作間距
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90mm
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相機(jī)
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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圖像接口
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VGA
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LED可調(diào)光源
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有
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顯示屏
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8寸
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放大倍數(shù)
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19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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