HiPace 2300
上海伯東銷售維修 Pfeiffer HiPace 2300, 抽速最 高可達(dá) 2050 l/s 高性能. 分子泵通過保護(hù)等級(jí) IP54 認(rèn)證. 高抽速和氣體吞吐量. 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 工業(yè)和研發(fā)行業(yè). 通過分子泵控制器, 監(jiān)控操作數(shù)據(jù)保證分子泵的安全性. 集成水冷系統(tǒng). 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蝕款 C 和倒置款 U 供選擇.
HiPace 2300 特性
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對(duì)各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的運(yùn)行安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號(hào)
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
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HiPace 2300 技術(shù)參數(shù)
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型號(hào)
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HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-K
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HiPace 2300 TC 1200
DN 250 ISO-F
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HiPace 2300 TC 1200
DN 250 CF-F
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Ar 壓縮比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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H2 壓縮比
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2X104
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2X104
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2X104
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He 壓縮比
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3X105
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3X105
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3X105
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N2 壓縮比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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最 大預(yù)抽真空, N2 hPa
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1.8
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1.8
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1.8
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Ar全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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16
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16
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8
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H2 全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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>50
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>50
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30
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He全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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>30
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>30
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16
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N2 全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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28
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28
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11
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操作電壓 V AC
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90-265
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90-265
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90-265
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最 大電流 A
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10
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10
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10
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允許最 大磁場(chǎng) mT
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7
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7
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7
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Ar抽速l/s
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1800
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1800
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1800
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H2 抽速l/s
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1850
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1850
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1850
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He 抽速 l/s
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2000
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2000
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2000
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N2 抽速l/s
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1900
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1900
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1900
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轉(zhuǎn)速 ± 2 % rpm
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31500
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31500
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31500
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啟動(dòng)時(shí)間 min
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4
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4
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4
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極限真空 hPa
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1X10-7
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1X10-7
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5X10-10
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重量 kg
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35.5
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36.6
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51.8
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上海伯東德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 2300 適用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 工業(yè)和研發(fā)行業(yè).
