NexION 5000 ICP-MS具有：

· 干擾去除能力

· 出色的背景等效濃度(BECs)

· 基體耐受性

· 符合SEMI S2/S8法規(guī)和安規(guī)要求

NexION 5000 ICP-MS配備了一系列新型專有技術(shù)，其性能超越了傳統(tǒng)的三重四極桿技術(shù)，重新定義了您的期望值：

· 四組四極桿：

o 一組
四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個(gè)基于離子能量的靜電質(zhì)量分析器，對離子進(jìn)行動(dòng)態(tài)聚焦和質(zhì)量篩選，同時(shí)把離子偏轉(zhuǎn)90度以實(shí)現(xiàn)與中性成分和光子分離，導(dǎo)入下一級四極桿

o 二組
為一個(gè)四極桿質(zhì)量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至四極桿通用池。它包含長預(yù)四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，佳分辨率 < 0.3 amu

o 第三組
為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場上由四極桿構(gòu)成的池技術(shù)，具有動(dòng)態(tài)帶寬質(zhì)量調(diào)諧能力（從而可以對反應(yīng)進(jìn)行有效的控制），標(biāo)配軸向場技術(shù)（從而可以使用所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質(zhì)量選擇器，抑制池內(nèi)副反應(yīng)的產(chǎn)生，確保所需反應(yīng)完，從而徹底去除干擾。

o 第四組
為第二個(gè)四極桿質(zhì)量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至檢測器。具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，佳分辨率 < 0.3 amu

· 電子稀釋技術(shù)（EDR）擴(kuò)展動(dòng)態(tài)線性范圍至10¹²，允許在一次運(yùn)行中，同時(shí)分析高低濃度元素，減少重復(fù)運(yùn)行

· 極低的維護(hù)實(shí)現(xiàn)長時(shí)間運(yùn)行：

o 第二代帶OmniRig^?的三錐接口（TCI）技術(shù)與四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（QID）相結(jié)合，從而實(shí)現(xiàn)錐后無需維護(hù)，保證儀器長時(shí)間運(yùn)行和出色的穩(wěn)定性

o 34 MHz自激式RF發(fā)生器提供免故障的客戶體驗(yàn)——LumiCoil^? RF工作線圈產(chǎn)生等離子體，它只需空氣冷卻（無需水冷或氣冷），從而無需維護(hù)且無需更換

· 通過外部狀態(tài)指示燈，可輕易得知分析狀態(tài)，提高了效率

· Syngistix^?軟件（v. 3.0或更高版本）將多重四極桿的性能與充滿現(xiàn)代感的用戶界面整合，實(shí)現(xiàn)用戶友好的工作流程操作

· 可升級SEMI S2/S8認(rèn)證（應(yīng)急按鈕），從而符合半導(dǎo)體超凈間設(shè)施集成要求

規(guī)格