大口徑 RFICP 380
上海伯東美國 KRi 大口徑 RFICP 380, 3層?xùn)艠O設(shè)計(jì), 柵極口徑 38cm, 提供離子動(dòng)能 100-1200eV 寬束離子束, 離子束流 > 1000mA, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用. 廣泛應(yīng)用于離子束刻蝕機(jī).
KRi RFICP 380 特性
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時(shí)間更長. 2kW & 1.8 MHz, 射頻自動(dòng)匹配
2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)
3. 離子光學(xué), 自對準(zhǔn)技術(shù), 準(zhǔn)直光束設(shè)計(jì), 自動(dòng)調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運(yùn)行
4. 全自動(dòng)控制器
5. 離子束動(dòng)能 100-1200eV
6. 柵極口徑 38cm, 滿足 300 mm (12英寸)晶圓應(yīng)用
RFICP 380 技術(shù)規(guī)格:
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陽極
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電感耦合等離子體
2kW & 1.8 MHz
射頻自動(dòng)匹配
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陽極功率
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>1kW
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離子束流
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> 1000mA
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電壓范圍
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100-1500V
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離子束動(dòng)能
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100-1200eV
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氣體
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Ar, O2, N2,其他
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流量
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5-50sccm
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壓力
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< 0.5mTorr
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離子光學(xué), 自對準(zhǔn)
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OptiBeamTM
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離子束柵極
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38cm Φ
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柵極材質(zhì)
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鉬
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離子束流形狀
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平行,聚焦,散射
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中和器
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LFN 2000
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高度
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38.1 cm
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直徑
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58.2 cm
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鎖緊安裝法蘭
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12”CF
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RFICP 380 基本尺寸:
上海伯東美國考夫曼 KRI 大口徑 RFICP 220, RFICP 380 成功應(yīng)用于 12英寸和 8英寸磁存儲器刻蝕機(jī), 8英寸量產(chǎn)型金屬刻蝕機(jī)中, 實(shí)現(xiàn) 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蝕工藝, 適用于 IC, 微電子,光電子, MEMS 等領(lǐng)域.
作為蝕刻機(jī)的核心部件, 提供大尺寸, 高能量, 低濃度的離子束, 接受客戶定制, 單次工藝時(shí)間更長, 滿足各種材料刻蝕需求!
