桌面式小型磁控濺射儀
KT-Z1650PVD真空鍍膜機(jī)已通過(guò)分銷商銷往許多大學(xué)和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。
儀器描述:該產(chǎn)品為臺(tái)式磁控濺射鍍膜機(jī),能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動(dòng)控制,設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué),所得結(jié)果一致,可重復(fù)性高。
桌面式小型磁控濺射儀技術(shù)參數(shù);
控制方式
|
7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
|
濺射電源
|
直流濺射電源
|
鍍膜功能
|
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
|
功率
|
≤1000W
|
輸出電壓電流
|
電壓≤1000V 電流≤1A
|
真空
|
機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa
|
濺射真空
|
≤30Pa
|
擋板類型
|
電控
|
真空腔室
|
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
|
樣品臺(tái)
|
可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底)
|
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速
|
8轉(zhuǎn)/分鐘
|
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離
|
40-105mm
|
真空測(cè)量
|
皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測(cè)量范圍10E5Pa 1E-1Pa)
|
預(yù)留真空接口
|
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
|