高精度流量計氣體配比器
CS系列產(chǎn)品采用了先的技術(shù),申報并獲得66項國家z利,其中PCT2項,發(fā)明z利24項。CS 系列產(chǎn)品的各項技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn),相對于模擬產(chǎn)品具有精度高,響應(yīng)快,使用便捷，可實現(xiàn)功能多、易于通訊、擴(kuò)展性和可兼容性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。CS系列產(chǎn)品已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、燃料電池、真空、分析儀器、光電、制氣、石化、醫(yī)療、航空電力等行業(yè)。
高精度流量計氣體配比器
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產(chǎn)品型號
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KT-PCS4Z
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KT-C4ZS
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氣體通道
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4進(jìn)1出
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4進(jìn)1出
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可根據(jù)需求定制
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產(chǎn)品類型
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高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
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可選量程
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20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
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產(chǎn)品精度
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高精度型±1％F.S
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普通型±1％F.S
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重復(fù)精度
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高精度型±0.2% F.S
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普通型±0.2% F.S
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線性
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高精度型±0.5% F.S.
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普通型±1% F.S.
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響應(yīng)時間
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高精度型≤2sec
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普通型≤4sec
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工作溫度范圍
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(5~45)°C
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供電電源
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~85-265VAC 50/60Hz
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功耗
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40W
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進(jìn)氣口壓
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≤0.6MPa
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連接管道
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316不銹鋼管道
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截止閥類型
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電磁閥
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單向閥開啟壓力
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0.02Mpa
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壓力顯示量程
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0-0.6Mpa
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控制方式
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7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
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時間設(shè)定
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0-32000分鐘
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清洗功能
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一鍵清洗
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程序控制
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5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值)
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壓力顯示
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有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路）
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氣體混合罐
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有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
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氣體加熱
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無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）
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流量累計
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有（累計當(dāng)前運(yùn)行總流量）
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可選進(jìn)出氣口接頭形式
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3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
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抗電磁干擾
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有
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外形尺寸
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550x380x400mm
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重量
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18KG～20KG
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