大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，最 大功率1000w，配有水冷機(jī)接口，可長時(shí)間運(yùn)行。該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機(jī)，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時(shí)間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動(dòng)控制，設(shè)計(jì)符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。
主要特點(diǎn)：
輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作
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大功率桌面濺射儀技術(shù)參數(shù)；
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控制方式
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7寸人機(jī)界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
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濺射電源
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直流濺射電源
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鍍膜功能
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0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
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功率
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≤1000W
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輸出電壓電流
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電壓≤1000V 電流≤1A
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真空
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機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa
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濺射真空
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≤30Pa
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擋板類型
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電控
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真空腔室
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石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
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樣品臺
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可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
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樣品臺轉(zhuǎn)速
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8轉(zhuǎn)/分鐘
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樣品濺射源調(diào)節(jié)距離
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40-105mm
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真空測量
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皮拉尼真空計(jì)（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
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預(yù)留真空接口
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KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
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