質(zhì)量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調(diào)節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
? 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時間最快≤ 0.5sec。
? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對前段氣體壓力的擾動進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
質(zhì)量流量計智能氣體配比器
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產(chǎn)品型號
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KT-PCS4Z
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KT-C4ZS
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氣體通道
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4進(jìn)1出
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4進(jìn)1出
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可根據(jù)需求定制
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產(chǎn)品類型
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高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
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可選量程
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20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
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產(chǎn)品精度
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高精度型±1％F.S
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普通型±1％F.S
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重復(fù)精度
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高精度型±0.2% F.S
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普通型±0.2% F.S
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線性
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高精度型±0.5% F.S.
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普通型±1% F.S.
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響應(yīng)時間
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高精度型≤2sec
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普通型≤4sec
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工作溫度范圍
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(5~45)°C
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供電電源
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~85-265VAC 50/60Hz
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最，大功耗
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40W
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進(jìn)氣口壓
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≤0.6MPa
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連接管道
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316不銹鋼管道
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截止閥類型
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電磁閥
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單向閥開啟壓力
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0.02Mpa
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壓力顯示量程
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0-0.6Mpa
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控制方式
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7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
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時間設(shè)定
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0-32000分鐘
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清洗功能
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一鍵清洗
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程序控制
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5段可編程序(時間-流量隨意設(shè)定值)
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壓力顯示
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有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路）
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氣體混合罐
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有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
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氣體加熱
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無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）
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流量累計
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有（累計當(dāng)前運行總流量）
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可選進(jìn)出氣口接頭形式
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3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
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抗電磁干擾
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有
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外形尺寸
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550x380x400mm
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重量
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18KG～20KG
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