半導(dǎo)體制冷超低溫探針熱臺(tái)精巧型真空腔體測(cè)試腔主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。
KT-Z165M4RT半導(dǎo)體制冷超低溫探針熱臺(tái)主要用于氣體敏感材料或其他對(duì)環(huán)境敏感性材料中的電信號(hào)測(cè)試。測(cè)試腔體內(nèi)部裝有不銹鋼加熱承載臺(tái)，臺(tái)面為φ30，臺(tái)面可升溫到400℃。臺(tái)面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測(cè)試。該腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機(jī)械泵可達(dá)＜5Pa分子泵可達(dá)＜-3Pa。真空信號(hào)連接處使用別真空電極信號(hào)接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測(cè)的器件方在加熱臺(tái)面，探針處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)至被測(cè)試器件的引腳處，外部信號(hào)線連接測(cè)試儀器來(lái)測(cè)試電學(xué)信號(hào)。
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溫控器
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加熱溫度
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35-400℃
注意：熱臺(tái)溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺(tái)面測(cè)量熱電阻值對(duì)應(yīng)分度值做校準(zhǔn)。
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溫控誤差
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±1℃
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熱電偶類型
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PT100高精度傳感器
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溫控表
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宇電PID溫控器
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程序控溫
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1段（可選30段程序控溫表）
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加熱功率
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≤300W
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加熱電源
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AC220v
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尺寸
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230x230x125MM
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重量
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6kg
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真空探針熱臺(tái)
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼
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加工方式
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一體式CNC精加工
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內(nèi)腔體尺寸
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137X57X21mm 容積165ML
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加熱臺(tái)尺寸
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Φ35mm
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觀察窗內(nèi)徑
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Φ45mm
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觀察窗材質(zhì)
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高透光石英玻璃
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信號(hào)輸出頭
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SMA母頭 配線 SMA轉(zhuǎn)BNC 1.5米
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V
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抽氣口
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KF16
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進(jìn)氣口
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6MM卡套
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使用正壓
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≤O.05MPa
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使用負(fù)壓
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機(jī)械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa
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可擴(kuò)展配件
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氣體液體注射口
4芯電信號(hào)接頭
8芯電信號(hào)接頭
SMA905 光纖接口
擴(kuò)展5KV高壓電極
升級(jí)30段控溫儀表
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移動(dòng)探針
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探針規(guī)格
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探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm
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上下移動(dòng)距離
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2.5mm
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前后移動(dòng)距離
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±10mm
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左右旋轉(zhuǎn)距離
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120°
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