質(zhì)量流量計(jì)外置式氣體配比器KT-C4ZS按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營造特定要求的氣氛環(huán)境. 控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶要求隨意添加
該氣體配比器可以外接兩種或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏。
配置1質(zhì)量流量
2單向閥單向出氣
3觸摸屏控制，5段可編程序（時(shí)間-流量隨意設(shè)置定值）
4采用316金屬管道耐腐蝕性強(qiáng)
用途1半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2各種真空鍍膜設(shè)備
3特種材料表面處理
5混合配氣系統(tǒng)
6環(huán)境監(jiān)測與分析設(shè)備
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產(chǎn)品型號(hào)
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KT-PCS4Z
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KT-C4ZS
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氣體通道
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4進(jìn)1出
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4進(jìn)1出
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可根據(jù)需求定制
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產(chǎn)品類型
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高精度型/快速響應(yīng)型/智能控制/觸摸屏控制
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可選量程
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20sccm-30slm(氣體量程根據(jù)客戶需要可選)
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產(chǎn)品精度
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高精度型±1％F.S
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普通型±1％F.S
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重復(fù)精度
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高精度型±0.2% F.S
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普通型±0.2% F.S
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線性
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高精度型±0.5% F.S.
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普通型±1% F.S.
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響應(yīng)時(shí)間
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高精度型≤2sec
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普通型≤4sec
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工作溫度范圍
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(5~45)°C
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供電電源
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~85-265VAC 50/60Hz
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最 大功耗
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40W
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進(jìn)氣口壓
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≤0.6MPa
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連接管道
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316不銹鋼管道
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截止閥類型
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電磁閥
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單向閥開啟壓力
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0.02Mpa
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壓力顯示量程
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0-0.6Mpa
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控制方式
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7寸觸摸屏智能調(diào)節(jié)
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時(shí)間設(shè)定
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0-32000分鐘
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清洗功能
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一鍵清洗
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程序控制
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5段可編程序(時(shí)間-流量隨意設(shè)定值)
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壓力顯示
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有（出氣壓力檢測且有壓力上限設(shè)置過壓切斷總輸出氣路）
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氣體混合罐
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有（內(nèi)置不銹鋼擾流板氣體混合均勻）
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氣體加熱
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無（可選配氣體混合罐加熱，加熱溫度室溫至350℃可調(diào)）
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流量累計(jì)
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有（累計(jì)當(dāng)前運(yùn)行總流量）
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可選進(jìn)出氣口接頭形式
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3mm,6mm,1/8mm,1/4mm雙卡套接頭
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抗電磁干擾
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有
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外形尺寸
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550x380x400mm
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重量
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18KG～20KG
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