微型高溫探針臺KT-Z400MR4T
系列微型真空探針臺是一款專門用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)性能表征和測 量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行電學(xué)測量評估，是實(shí)驗(yàn)室測量薄膜材料電學(xué)性能工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領(lǐng)域。
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成
為了減少泵組的振動，我們還專門為用戶設(shè)計(jì)了隔振器，很大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定，減少探針的漂移。
微型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數(shù)
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真空腔體
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類型
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高溫型室溫到350℃
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高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
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腔體材質(zhì)
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304不銹鋼 6061鋁合金 可選
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腔體內(nèi)尺寸
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127mmX57mmX20mm
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腔體外尺寸
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150mmX80mmX32mm
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腔體重量
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不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
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腔體上視窗尺寸
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Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
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腔體抽氣口
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KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
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腔體真空測量口
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KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
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腔體進(jìn)氣口
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6mm快擰 或 6mm快插
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腔體冷卻方式
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腔體水冷+上蓋氣冷
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腔體水冷接口
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腔體正壓
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≤0.05MPa
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腔體真空度
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機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
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樣品臺
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樣品臺材質(zhì)
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不銹鋼 銀銅合金 純銀塊
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銀銅合金 純銀塊
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樣品臺尺寸
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26x26mm
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樣品臺加熱方式
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電阻加熱
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電阻加熱 液氮制冷
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樣品臺-視窗 距離
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11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
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樣品臺測溫傳感器
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PT100型熱電阻
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樣品臺溫度
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室溫到400℃
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室溫到400℃ 室溫到-196℃
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樣品臺測溫誤差
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±0.5℃
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樣品臺升溫速率
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高溫100℃/min 低溫7℃/min
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溫控儀
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溫度顯示
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7寸人機(jī)界面
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溫控類型
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標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
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溫度分辨率
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0.1℃
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溫控精度
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±0.5℃
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溫度信號輸入類型
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PT100 （可選K S B型熱電偶）
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溫控輸出
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直流線性電源加熱
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直流線性電源加熱+液氮流速控制器
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輔助功能
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溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
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溫控器尺寸
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32cmX170cmX380cm
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溫控器重量
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約5.6KG
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探針
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電信號接頭
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配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
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電學(xué)性能
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絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
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探針數(shù)量
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4探針（可擴(kuò)展5探針）
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探針材質(zhì)
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鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）
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探針尖
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10μm
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手動探針移動平臺
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X軸移動行程
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20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
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X軸控制精度
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≥500μm
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R軸移動行程
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120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）
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R軸控制精度
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≥500μm
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Z軸移動行程
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2mm ±1mm
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Z軸控制精度
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≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）
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