納米硅溶膠 電子級(jí)硅溶膠 納米二氧化硅溶液 精密拋光 SiO2
CAS:14808-60-7
為了滿足半導(dǎo)體精密拋光 CMP 及太陽(yáng)能行業(yè)要求。我們利用溶膠-凝膠法生產(chǎn)高純
度電子級(jí)硅溶膠，純度高于 99.999%，其顆粒形貌、濃度、分散介質(zhì)、pH 等均可調(diào)節(jié)，
該產(chǎn)品用于制備的高純硅溶膠拋光液，拋光速率高，芯片無(wú)劃傷。
用于制備石英坩堝高純涂層，有效控制硅棒在制備過(guò)程中不被污染，降低紅區(qū)，目
前在國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能多晶硅行業(yè)占有 50%以上的市場(chǎng)份額。
用于制備的氣凝膠，耐溫超過(guò) 1000℃，導(dǎo)熱率小于 0.02w/m.k
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型號(hào)
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B03030
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B0301
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B03031
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B03032
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B03033
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特征
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半透明淡藍(lán)色液體，顆粒形貌球形或類球形
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密度
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（g/cm3）
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1.2±0.1
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pH值
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(20℃)
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7-8
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8-10
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7-8
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7-8
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8-10
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固含量
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wt%
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20
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30
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30
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20
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20
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粘度
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mPa.s
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10-50
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5-30
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5-30
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10-50
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5-30
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粒徑
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nm
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100-120
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30-50
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30-50
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70-80
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10-20
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金屬雜質(zhì)含量(ppm)
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Na
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<0.3
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<1
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K
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<0.1
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<0.2
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Ca
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<0.2
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<0.2
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Fe
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<0.1
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<0.2
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Al
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<0.1
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<0.2
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Mg
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<0.1
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<0.1
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包裝與存儲(chǔ)
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25kg/桶，避光、通風(fēng)、密封保存，儲(chǔ)存溫度5-40℃，保質(zhì)期一年
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