產(chǎn)品應(yīng)用
砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的n型摻雜;硅中n型擴(kuò)散;離子注入;生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與III/V族元素形成化合物半導(dǎo)體
AsH3可用于合成與微電子學(xué)及固態(tài)雷射有關(guān)的半導(dǎo)體材料。與磷相似,砷是硅及鍺的n-摻染物
注意事項(xiàng)
發(fā)生泄漏時(shí),應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并隔離直至氣體散盡,切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴正壓自給式呼吸器,穿廠商特別推薦的化學(xué)防護(hù)服(wq隔離)。切斷氣源,噴霧狀水稀釋、溶解,注意收集并處理廢水。然后抽排(室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)(室外)。如有可能,將漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至空曠地方或裝設(shè)適當(dāng)噴頭燒掉。漏氣容器不能再用,且要經(jīng)過技術(shù)處理以qc可能剩下的氣體。