典型真空系統(tǒng)原理介紹：

1、粗真空泵（如水蒸汽噴射或水環(huán)泵）直接從大氣壓下為真空室排氣，組成的真空系統(tǒng)極為粗真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)是簡(jiǎn)單的真空系統(tǒng)。

2、低真空系統(tǒng) 用低真空泵（如油封式機(jī)械泵）給真空室排氣，即可組成低真空系統(tǒng)。

3、中真空系統(tǒng) 中真空系統(tǒng)一般是有兩個(gè)以上的真空泵串聯(lián)組成的。

（1）油增壓泵串聯(lián)油封機(jī)械泵組成的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的工作壓力范圍為1.33~1.3310^-1 Pa。其優(yōu)點(diǎn)是系統(tǒng)簡(jiǎn)單，抽氣能力大，振動(dòng)小，工作穩(wěn)定可靠，維修方便。缺點(diǎn)是預(yù)抽時(shí)間比羅茨泵系統(tǒng)長(zhǎng)。

（2）羅茨泵串聯(lián)油封機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的工作電壓范圍為1.33~1333Pa。優(yōu)點(diǎn)是抽氣能力大，啟動(dòng)快，預(yù)抽時(shí)間短。缺點(diǎn)是工作時(shí)噪聲較大。

（3）羅茨泵串聯(lián)小型羅茨泵（中間泵），再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。系統(tǒng)的工作壓力范圍為0.33~1333Pa。該系統(tǒng)不但具備了羅茨泵系統(tǒng)的特點(diǎn)，而且加寬了工作壓力范圍和很好壓力縮比。

（4）羅茨泵串聯(lián)水環(huán)泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)適合于排除灰塵較多的應(yīng)用設(shè)備，工作壓力范圍在1.3310-2 1.3310^-3 Pa。

4、高真空系統(tǒng)：

（1）擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。此系統(tǒng)可獲得1.3310- ~1.3310^-5 Pa的真空度，一般用在工作時(shí)放氣量比較小的應(yīng)用設(shè)備上。該系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作可靠，成本低。缺點(diǎn)是系統(tǒng)啟動(dòng)慢，預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)。擴(kuò)散泵的油蒸汽容易返流到真空室中去。

（2）擴(kuò)散泵串聯(lián)油增壓泵，在串聯(lián)油封機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的預(yù)抽時(shí)間短，但啟動(dòng)較慢。

（3）擴(kuò)散泵串聯(lián)羅茨泵（機(jī)械增壓泵），在串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。它的啟動(dòng)慢，但預(yù)抽氣時(shí)間短

5、超高真空系統(tǒng)

（1）擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵冷阱系統(tǒng)。擴(kuò)散泵串聯(lián)各個(gè)液氮冷阱，而且真空室和冷阱能耐400~450的烘烤。在此溫度下，可以清楚真空室壁及阱壁上吸附的氣體及凝結(jié)的泵油。該系統(tǒng)一般可得到1.3310 ^-7 Pa的極限真空度。

（2）渦輪分子泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。此系統(tǒng)不烘烤可獲得10^-6 Pa的真空度，烘烤后可達(dá)到10^-8 Pa。 該系統(tǒng)的特點(diǎn)是比較清潔，可構(gòu)成無油超高真空系統(tǒng)。

（3）濺射離子泵無油超高真空系統(tǒng)。以濺射離子泵為主泵，使用兩個(gè)分子篩做預(yù)抽泵，其中一個(gè)分子篩泵用來抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體，另一個(gè)用來抽走烘烤機(jī)離子泵啟動(dòng)時(shí)放出來的氣。

（4）低溫泵超高真空系統(tǒng)。用低溫泵作為主泵，并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵（做預(yù)抽真空泵）。該系統(tǒng)也可以用機(jī)械泵作為預(yù)抽真空泵，但必須在油封機(jī)械泵的入口管路上設(shè)置油蒸汽捕集器。

（5）組合超高真空系統(tǒng)。對(duì)于某些有特殊要求的真空系統(tǒng)，如對(duì)于既要求得到超高真空或無油超高真空，有同時(shí)滿足粗抽需要及能應(yīng)付工藝過程中放出來的大量氣體這樣的系統(tǒng)，可采用組合式系統(tǒng)來滿足要求。主泵為濺射離子泵，為了提高真空度及排走蒸收材料時(shí)產(chǎn)生的大量氣體，配有鈦升華泵。極限真空度可達(dá)6.6710^-7 Pa。用分子篩泵做主泵的預(yù)抽泵。此外，系統(tǒng)還配有粗抽系統(tǒng)，在壓力大于1333Pa時(shí)，機(jī)械泵不易返油，用機(jī)械泵直接抽真空室，壓力低于后，機(jī)械泵阱吸附阱從旁路抽真空室。

另一種形式組合的超高真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)適合于鈉燈封接爐等設(shè)備。系統(tǒng)的主泵為濺射離子泵-鈦升華泵組。真空室極限真空可達(dá)到510^-7 Pa。系統(tǒng)配有油擴(kuò)散泵-機(jī)械泵組成的機(jī)組，用來粗抽和作為主泵的預(yù)抽泵，同時(shí)能抽走工藝過程中放出來的大量氣體。

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