廣州捷恩機電科技有限公司,主要經(jīng)營進口真空泵及原裝和OEM件的真空泵配件及真空泵油,品牌為:德國BECKER貝克、德國BUSCH普旭(博世)、德國LEYBOLD萊寶(來寶)、德國RIETSCHLE偉力(里其樂),英國愛德華、法國ALCATEL阿爾卡特、日本ORION好利旺、日本ULVAV愛發(fā)科、意大利DVP等的真空泵油及配件
(2) 采用液力聯(lián)軸器
德國BECKER貝克采用液力聯(lián)軸器也能防止泵的過載現(xiàn)象發(fā)生,使德國BECKER貝克泵可以在高壓差下工作。液力聯(lián)軸器安裝在泵和電動機之間。在正常工作狀態(tài)下,液力聯(lián)軸器由電動機端向泵傳遞額定力矩。羅茨真空泵的最1大壓差由液力聯(lián)軸器所傳遞的最1大轉矩來決定,而液力聯(lián)軸器可傳遞的最1大轉矩由其中的液體量來調(diào)節(jié)。當?shù)聡鳥ECKER貝克泵在高壓差下工作或與前級泵同時啟動時,在液體聯(lián)軸器內(nèi)部產(chǎn)生了轉速差即滑動,只傳遞一定的力矩,使泵減速工作。隨著抽的進1,體負荷減小,羅茨真空泵逐漸加速至額定轉速。
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Edwa是一家全球領1先的真空設備、尾氣管理系統(tǒng)和相關增值服務的開發(fā)商和制造商。其產(chǎn)品和服務在半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池的制造流程中不可或缺;被應用于日益多樣化的工業(yè)生產(chǎn)過程,包括電力、玻璃和其他鍍膜應用、鋼鐵和其他冶金工業(yè)、制藥和化學工業(yè),并用于科學儀器和多種研發(fā)應用。 Edwa在全球擁有4,000多名雇員,從事于高科技真空和尾氣管理設備的設計、制造和支持。Edw在歐洲、亞洲和北美擁有11流的生產(chǎn)設施。
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對于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。
干泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4)化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有溶1劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。