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繼2016年 華龍一號(hào)首臺(tái)國產(chǎn)化主泵泵殼鍛件在中國一重完成之后。2017年4月8日，全球首臺(tái)華龍一號(hào)——福清五號(hào)核反應(yīng)堆壓力容器在中國一重大連核電石化公司水壓試驗(yàn)一次成功。這標(biāo)志著我國wq具備了自主設(shè)計(jì)、制造三代核電裝備的能力。上海電氣在2016年研制的首臺(tái)高溫氣冷堆壓力容器、金屬堆內(nèi)構(gòu)件正式發(fā)運(yùn)，同時(shí)列入國家能源局重大專項(xiàng)的cap1400堆內(nèi)構(gòu)件順利通過預(yù)驗(yàn)收，填補(bǔ)了國內(nèi)該項(xiàng)領(lǐng)域的空白。無油干式機(jī)械真空泵（又簡稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。 一、產(chǎn)品介紹2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能問題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。二、應(yīng)用干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。三、分類干式真空泵主要有下列幾種形式：雙圓裂片式雙圓裂片式設(shè)計(jì)和目前{zlx}和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些最早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理wq相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動(dòng)的能力—下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。組合式(羅茨+爪)組合式(羅茨+爪)設(shè)計(jì)用羅茨來提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)wq相同。也有些廠家將其{zh1}一級(jí)改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦砥鸬较♂尯透綦x作用。外部壓縮型螺桿式在外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)中，使用一對(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時(shí)使得氣體通路最短也最簡
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