應(yīng)用及特性:
在半導(dǎo)體廠(chǎng)內(nèi)的超純水處理系統(tǒng)是一龐大的,復(fù)雜的系統(tǒng),并包含了許多不同的單元,而整個(gè)系統(tǒng)的功能及設(shè)計(jì)主要是為了得到{jz}的超純水。雖然沒(méi)有任何單一的單元可以確保最終的采水水質(zhì),但是終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的{zh1}一道化學(xué)精制的處理程序,其重要性是不可忽視的。不像對(duì)化學(xué)物質(zhì)呈現(xiàn)惰性的管路及過(guò)濾材料,離子交換樹(shù)脂是帶化學(xué)性反應(yīng)的聚合物,所有的待處理水會(huì)wq的通過(guò)樹(shù)脂,因此精制混床樹(shù)脂是除去微量化學(xué)污染物質(zhì)的{zh1}一道防線(xiàn)。除此之外,這些樹(shù)脂絕不能釋出任何物質(zhì),進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng)。因?yàn)檫@些嚴(yán)格的條件,終端精制混床樹(shù)脂必須是{zg}的品質(zhì),且同時(shí)必須是正確的被使用的。
列的說(shuō)明將提供所謂的正確使用所需要的相關(guān)數(shù)據(jù),以期AMBERJETUP6040可以得到{zj0}的效能。
終端精制的設(shè)計(jì)概念:
現(xiàn)今的超純水討論的是兆分之一(ppt)不純物的范圍,在如此的嚴(yán)格的要求下,終端精制混床樹(shù)脂的設(shè)計(jì)是沒(méi)有任何彈性的。此終端精制混床樹(shù)脂的使用必須確保除去所有的不純物,例如前端制程所可能導(dǎo)入的再生劑化學(xué)殘余物質(zhì)等。在水力的設(shè)計(jì)上,必須確保采水周期時(shí)水流分布是均勻的,同時(shí)壓差及離子交換速率也必須是平衡的。此最終精制的效能,必須是在可信賴(lài)的設(shè)備及可負(fù)擔(dān)的成本考量下被確保的。整個(gè)系統(tǒng)必須是精簡(jiǎn)的、易操作及不容易故障的。大部份的超純水系統(tǒng)工程師及供貨商會(huì)考慮使用不再生型的終端精制混床樹(shù)脂來(lái)達(dá)到上述dui{zh1}精制系統(tǒng)的要求。而AMBERJETUP6040正是wq符合這些要求的{zj0}選擇。在正確的不再生精制器的設(shè)計(jì)及操作下,AMBERJETUP6040樹(shù)脂可以符合成本、效能、使用壽命等的要求及最重要的可信賴(lài)性。
建議入水水質(zhì)
入水水質(zhì)>17MW-cm
入水二氧化硅濃度<2ppb
入水總有機(jī)碳濃度(TOC)<15ppb
1.此樹(shù)脂可用于此建議之外的操作條件,但結(jié)果可能不是{zj0}的。
2.1BV(床容積)=每1m3樹(shù)脂為1m3溶液
樹(shù)脂基本特性:
在不再生的終端精制應(yīng)用上,超純水的質(zhì)量是遠(yuǎn)較樹(shù)脂的基本特性來(lái)的重要,但暸解所使用的樹(shù)脂特性以
得到{zj0}的效能及最長(zhǎng)使用壽命仍然是不可忽視的。AMBERJETUP6040的主要樹(shù)脂特性如下表所示,這些
數(shù)據(jù)顯示了組成AMBERJETUP6040的陽(yáng)陰樹(shù)脂特性,而這些特性賦予AMBERJETUP6040高交換容量、均一
顆粒大小等的嚴(yán)格樹(shù)脂標(biāo)準(zhǔn)。
Table2:TypicalPropertiesofAmberjetUP6040ComponentResins
陽(yáng)樹(shù)脂H+陰樹(shù)脂OH-
含濕量,%44.0-51.054.0-60.0
總交換容量,eq/L32.0031.10
均一系數(shù)£1.20£1.20
H型,%含量399-
OH型,%含量-395.0
Cl型,%含量-£0.5
CO3型,%含量-£5.0
SO4型,%含量-£0.1[1]