產(chǎn)品型號:NBD-HR1200-110IT-170,RTP快速退火爐
商品簡述:NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 該產(chǎn)品采用國際先進(jìn)制造工藝,造型新穎結(jié)構(gòu)合理;
目前已被各種試樣實(shí)驗(yàn)多次驗(yàn)證,并已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域;
該系統(tǒng)主要用于:
1.可滿足離子注入后的快速退火;
2.也可用于歐姆接觸快速合金;
3.還可用于硅化物合金退火,氧化物生長;
4.以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
該設(shè)備是國家專利保護(hù)產(chǎn)品,專利號:CN201310005931.6
快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了國際先進(jìn)生產(chǎn)制造工藝的基礎(chǔ)上自主研發(fā)了該kuan產(chǎn)品,RTP快速退火爐擁有獨(dú)立的發(fā)明專利。該設(shè)備不但擁有極快的升溫速率500℃/S,而且在燒結(jié)工藝運(yùn)行完結(jié),直接將試樣在高溫區(qū)取出。實(shí)現(xiàn)物理狀態(tài)下的最快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,RTP快速退火爐在綠色節(jié)能環(huán)保的基礎(chǔ)上真正的實(shí)現(xiàn)了試樣的極速升降溫!
腔體采用了獨(dú)有進(jìn)氣結(jié)構(gòu),內(nèi)管進(jìn)氣,外管出氣,RTP快速退火爐使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的利器。測溫元件直接和試樣接觸,RTP快速退火爐保證試樣溫度的精準(zhǔn)性。