工業(yè)廢氣不僅影響著人們的健康生活，同時也對環(huán)境造成了很大的污染。為此工業(yè)廢氣處理設備更是受到了政府部門的關注與支持。

在工業(yè)生產(chǎn)過程中所產(chǎn)生的大量廢氣以及一氧吪碳、二氧吪硫和碳氫化合物等對人體有害物質(zhì)中bao含的VOC有機廢氣是強致ai物。而傳統(tǒng)的處理方式只是將作業(yè)點產(chǎn)生的廢氣通過高空排放，但這樣的操作只是將污染轉(zhuǎn)移至大氣以及周邊的環(huán)境中，其污染和危害更大。所以，我們更加需要工業(yè)廢氣處理設備了

低溫等離子體技術在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到xc氣態(tài)污染物的目的。1980年，日本東京大學S．Masuda教授提出的高壓脈沖電暈放電法是常溫常壓下得到低溫等離子體的最簡單、有效的方法。它已成為目前的研究前沿，也正越來越多的用于氣態(tài)污染物的治理。

低溫等離子體工業(yè)廢氣處理成套設備和技術是在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過{jd0}放電產(chǎn)生的新一低溫等離子體技術具有能量高、電子發(fā)射密度高等特點，其凈化原理如下：

●在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。