【美清凈化工程像您推薦——潔凈室】
潔凈車間的測(cè)試:
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量:如果是紊流潔凈車間,那么就要測(cè)量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈車間,則要測(cè)量其風(fēng)速。
2.各區(qū)之間的氣流控制:為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動(dòng),必須檢測(cè): (1)各區(qū)間的壓差正確; (2)門口處或墻、地板等處的開口處氣流運(yùn)動(dòng)方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流。
3.過濾器檢漏:對(duì){gx}過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗(yàn),以保證懸浮污染物不會(huì)穿過 (1)損壞了的過濾器; (2)過濾器與其外框間的縫隙; (3)過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。
4.隔離檢漏:這項(xiàng)測(cè)試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈車間。
5.懸浮粒子濃度和微生物濃度:如果上述這些測(cè)試滿足要求,則{zh1}對(duì)粒子濃度和微生物濃度(需要時(shí))進(jìn)行測(cè)量,以便驗(yàn)明其符合潔凈車間設(shè)計(jì)的技術(shù)條件。
6.室內(nèi)氣流控制:氣流控制測(cè)試的類型要依潔凈車間的氣流模式——是紊流還是單向流而定。若潔凈車間氣流為紊流,則必須驗(yàn)明室內(nèi)沒有氣流運(yùn)行不足的區(qū)域。若是單向流潔凈車間,則必須驗(yàn)明整個(gè)室內(nèi)的風(fēng)速和風(fēng)向是符合設(shè)計(jì)要求的。
7.其他測(cè)試:除了上述這些污染控制方面的測(cè)試以外,有時(shí)還必須進(jìn)行下述一項(xiàng)或若干項(xiàng)測(cè)試: ●溫度●相對(duì)濕度●室內(nèi)加熱與冷卻容量●噪聲值●光照度●振動(dòng)值
【美清凈化工程像您推薦——潔凈室】
潔凈車間是否達(dá)標(biāo)有哪些測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)?
為證明潔凈車間工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準(zhǔn)則的要求: 1.潔凈車間的送風(fēng)量充足,足以稀釋或xc室內(nèi)產(chǎn)生的污染。 2.潔凈車間的送風(fēng)不會(huì)顯著增加室內(nèi)的污染?!?.潔凈車間內(nèi)的空氣是從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動(dòng),受污染空氣的流動(dòng)達(dá)到{zd1}程度,空氣在門口處和室內(nèi)建筑中的流動(dòng)方向正確。 4.室內(nèi)空氣的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)可保證密室內(nèi)沒有高濃度聚集區(qū)域。 如果潔凈車間達(dá)到了上述這些準(zhǔn)則的要求,就可以測(cè)量其粒子濃度或微生物濃度(必要時(shí)),以確定其達(dá)到了規(guī)定的潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、xj等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。
按照國(guó)際慣例,無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非{bfb}沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方英寸1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。