VARIAN TV81
渦輪分子泵有超高真空低能耗,氣體輸送能力強(qiáng),循環(huán)時(shí)間短使用時(shí)間長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
在分子泵剛剛開(kāi)始工作的階段,由于有大量的氣體由進(jìn)氣口被抽到排氣口,
所以這種返流對(duì)實(shí)際抽速帶來(lái)的影響不是很大,而隨著進(jìn)氣口壓力的下降,
分子泵抽下來(lái)的氣體量在減少,這時(shí),氣體返流對(duì)抽速的影響也就大起來(lái)了。
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分子泵對(duì)氫氣的壓縮比越大,
分子泵對(duì)氫氣的實(shí)際有效抽速就越大;
反之,則實(shí)際有效抽速已經(jīng)所剩無(wú)幾。
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